Fa'ateteleina ausa kemikolo fa'ateteleina

E masani lava ona fa'alagolago le fa'aogaina o le CVD i le maualuga o le vevela, o lea e ta'ua ai le fa'amama fa'ateteleina ausa kemikolo (TCVD). E masani lava ona fa'aogaina mea fa'aanatura ma e fa'atinoina i puipui vevela ma puipui malulu. O ona auala faʻavevela e aofia ai le faʻamafanafanaina o leitio (RF), faʻavevela faʻavevelaina, faʻavevela faʻafefe, ma isi.

Fa'afuga ausa vaila'au vevela puipui
O le mea moni, o le vevela o le puipui o le ausa fa'a'ave'aveina o se ogaumu vevela, e masani ona fa'avevela i elemene tetee, mo le gaosiga le tumau. O lo'o fa'aalia le fa'atusaina o se fale e tu'u ai ausa vaila'au vevela mo le fa'apipi'iina o meafaigaluega pu'e. E mafai ona ofuina TiN, TiC, TiCN ma isi ata manifinifi lenei pa'u vevela vevela. E mafai ona mamanuina le reactor ia lava tele ona uuina lea o se numera tele o vaega, ma e mafai ona pulea lelei tulaga mo le teuina. O le ata 1 o loʻo faʻaalia ai se masini faʻapipiʻi epitaxial mo le faʻaogaina o masini semiconductor. O le substrate i totonu o le ogaumu o loʻo tuʻuina i luga o le tuʻu saʻo e faʻaitiitia ai le faʻaleagaina o le faʻapipiʻiina o luga e ala i mea iti, ma faʻateleina ai le utaina o gaosiga. Reactors puipui vevela mo le gaosiga semiconductor e masani ona faʻaogaina i le maualalo o le mamafa.