Sputtering o se faʻalavelave lea e taia ai ni vaega malolosi (e masani lava o ions lelei o kasa) i luga o se malo (lalo e taʻua o le mea faʻatatau), ma mafua ai ona sola ese mai ai atom (poʻo mole mole) i luga o le mea.
O lenei mea mata'utia na maua e Grove i le 1842 ina ua femalaga'i le mea o le cathode i le puipui o se paipa vacuum i le taimi o se suʻega e suʻesuʻe ai le cathodic corrosion. O lenei auala sputtering i le substrate deposition o ata manifinifi na maua i le 1877, ona o le faaaogaina o lenei auala teuina o ata manifinifi i le amataga o le sputtering fua faatatau e maualalo, saoasaoa ata tifaga, e tatau ona faatuina i le masini o le maualuga-omiga ma pasi atu i le kesi aafia ma isi se faasologa o faafitauli, o lea o le atinae e matua telegese ma toetoe lava aveesea, refractory na o le uʻamea, refractory. dielectrics, ma vailaʻau vailaʻau, mea i luga o se numera itiiti o talosaga. Seia oʻo i le 1970s, ona o le tulaʻi mai o le magnetron sputtering technology, sputtering coating ua vave ona atinaʻe, na amata ona ulufale i le toe faʻafouina o le auala. E mafua ona o le magnetron sputtering method e mafai ona faʻalavelaveina e le orthogonal electromagnetic field i luga o le eletise, faʻateleina le avanoa o le fetoʻai o electrons ma mole kesi, e le gata ina faʻaitiitia ai le voltage faaopoopo i le cathode, ma faʻaleleia le fua o le sputtering o ion lelei i luga o le cathode sini, faʻaitiitia ai le avanoa o le pomuina o lona maualuga, o le vevela o le vevela i luga o le lua. uiga autu o le "maualuga saoasaoa ma maualalo vevela".
I le 1980s, e ui lava na foliga mai na o le sefululua tausaga, e tulaga ese mai le falesuesue, moni lava i totonu o le fanua o le gaosiga tele o alamanuia. Faʻatasi ai ma le atinaʻeina atili o le saienisi ma tekinolosi, i tausaga talu ai nei i le fanua o le sputtering coating ma le faʻaofiina o le ion beam ua faʻaleleia le sputtering, o le faʻaogaina o le lautele lautele o le puna ion malosi o loʻo i ai nei faʻatasi ma le faʻaogaina o le mageta, ma le tuʻufaʻatasia o le sputtering dipole masani e aofia ai se faiga fou sputtering; ma o le a avea le folasaga o le vaeluagalemu alternating eletise o loʻo i ai nei i le magnetron sputtering puna sini. O lenei masini eletise eletise eletise AC, e taʻua o le masaga o le sputtering, e le gata ina faʻaumatia ai le aafiaga o le anode, ae foia ai le faafitauli o le "oona" o le cathode, lea e faʻaleleia atili ai le mautu o le magnetron sputtering, ma maua ai se faavae mautu mo le gaosiga o gaosiga o ata manifinifi. O lenei mea ua matua fa'aleleia atili ai le mautu o le magnetron sputtering ma maua ai se fa'avae mautu mo le gaosiga fa'apisinisi o ata manifinifi tu'ufa'atasi. I tausaga talu ai nei, o le sputtering coating ua avea ma tekinolosi sauniuni ata tifaga vevela, malosi i le fanua o tekinolosi faʻapipiʻi gaogao.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Tes-05-2023