O le mauaina o le vacuum e lauiloa foi o le "vacuum pumping", lea e faasino i le faʻaogaina o pamu mama eseese e aveese ai le ea i totonu o le atigipusa, ina ia pa'ū le mamafa i totonu o le avanoa i lalo ifo o le tasi atemosifia. I le taimi nei, ina ia mafai ona maua le gaogao ma e masani ona faaaoga masini e aofia ai rotary vane masini gaogao pamu, Roots pamu, suauu diffusion pamu, mole mole tuufaatasia pamu, molecular sieve pamu adsorption, titanium sublimation pamu, sputtering pamu ion ma pamu cryogenic ma isi. I totonu o nei pamu, o pamu muamua e fa o loʻo faʻavasegaina e pei o pamu faʻafefe kesi (faʻaliliuina pamu mama), o lona uiga o loʻo faʻaauau pea le suʻeina o mole kesi i totonu o le pamu mama ma tuʻuina atu i le siosiomaga i fafo e iloa ai le aveeseina; o pamu mulimuli e fa o loʻo faʻavasegaina o pamu e puʻeina kesi (puʻeina pamu mama), o loʻo faʻapipiʻiina pe faʻamaʻi faʻamaʻi i luga o le puipui i totonu o le potu pamu e maua ai le gaogao manaʻomia. O pamu e pu'e kesi e ta'ua foi o pamu gaogao e leai ni suau'u aua latou te le faaaogaina le suauu e fai ma ala galue. E le pei o pamu fesiitaiga, lea e aveese tumau ai le kesi, o nisi pamu pu'e e mafai ona toe fa'afo'i, e mafai ai ona toe fa'afo'i atu le kasa ua aoina pe fa'aputu i totonu o le masini a'o fa'avevela.
Fa'aliliuina pamu mama ua vaevaeina i ni vaega autu se lua: volumetric ma le momentum transfer. O pamu fesiita'i volumetric e masani ona aofia ai pamu masini masini, pamu mama vai, pamu fa'asolosolo ma pamu a'a; pamu fa'a'ave'u fa'ase'e tele e masani ona aofia ai pamu mole, pamu va'a, pamu fa'asalalau suau'u. Pu'e pamu gaogao e masani ona aofia ai le maualalo o le vevela adsorption ma sputtering ion pamu.
I se tulaga lautele, e ese le faagasologa o le ufiufi, e tatau ona oʻo atu i tulaga eseese le vacuum coating chamber vacuum, ma i le masini masini, sili atu i le vacuum i tua (lea e lauiloa o le intrinsic vacuum) e faʻaalia ai lona tulaga. O le gaogao pito i tua e faatatau i le gaogao o le potu faʻapipiʻi gaogao e ala i le pamu mama e faʻafetaui ai manaʻoga o le faʻaogaina o le faʻagasologa o le maualuga o le vacuum, ma le tele o lenei vacuum, e faʻalagolago lava i le vacuum pumping capacity. Vacuum coating potu e lona vacuum system vacuum e mafai ona oʻo atu i le vacuum sili ona maualuga ua taʻua o le vacuum tapulaʻa (poʻo le mamafa o le mamafa). Lisi 1-2 o lo'o lisiina ai le faʻaogaina o le mamafa o nisi o pamu mama masani ma le mamafa sili e mafai ona maua. O vaega paolo o le laulau o lo'o fa'atusalia ai omiga e mafai ona maua e pamu ta'itasi ta'itasi pe a fa'aoga fa'atasi ma isi masini.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Aukuso-30-2024
