(3) Radio Frequency Plasma CVD (RFCVD) RF e mafai ona faʻaaogaina e gaosia ai le plasma e ala i ni auala eseese se lua, o le capacitive coupling method and inductive coupling method.RF plasma CVD faʻaaogaina le tele o le 13.56 MHz.O le lelei o le RF plasma e faʻasalalau i luga o se vaega tele atu nai lo le microwave plasma. sputtering, aemaise lava pe afai o le plasma o loʻo i ai argon.Capacitively coupled plasma e le talafeagai mo le faʻatupulaia o ata tifaga taimane maualuga talu ai o le pomu o le ion mai le plasma e mafai ona oʻo atu ai i le leaga tele o le taimane. Polycrystalline taimane ata tifaga ua tupu e faaaoga RF faaoso plasma i lalo o tulaga deposition e tutusa ma microwave plasma CVD.Homogeneous epitaxial taimane ata tifaga ua maua foi e faaaoga RF-faatosina plasma-faaleleia CVD.
(4) DC Plasma CVD
DC plasma o se isi auala o le faagaoioia o se puna kesi (e masani lava o se paluga o le H2, ma le kasa hydrocarbon) mo le tuputupu aʻe ata tifaga taimane. DC plasma-fesoasoani CVD e mafai ona tuputupu aʻe vaega tele o ata tifaga taimane, ma o le tele o le vaega tuputupu aʻe e faatapulaaina na o le tele o le electrodes ma le DC power supply.O le isi tulaga lelei o le DC plasma-fesoasoani CVD o le faia o se faiga o se tui DC8 taimane e maua i le faiga o se tui DC8, ma le faiga o se tui taimane DC8. mm/h. E le gata i lea, talu ai e mafai e auala eseese a le DC arc ona teuina ata tifaga taimane maualuga i luga o mea e le o ni taimane i le maualuga o le fa'aputuina o fua faatatau, latou te maua ai se auala fa'atau mo le fa'aputuina o ata taimane.
(5) Electron cyclotron resonance microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (ECR-MPECVD)O le DC plasma, RF plasma, ma microwave plasma na faʻamatalaina muamua e vavae ese uma ma faʻaumatia H2, poʻo hydrocarbons, i totonu o vaega o le hydrogen atomic ma carbon-hydrogen atom, ma saofagā i le fausiaina o ata manifinifi taimane. Talu ai e mafai ona maua e le electron cyclotron resonance plasma plasma maualuga (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD e sili atu ona talafeagai mo le tuputupu aʻe ma le teuina o ata tifaga taimane. Ae ui i lea, ona o le maualalo o le mamafa o le kasa (10-4- i le 10-2 Torr) faʻaaogaina i le faagasologa o le ECR, lea e iʻu ai i le maualalo o le seti o ata tifaga taimane talafeagai, o le auala o le falesuesue o ata taimane talafeagai.
-O lenei tusiga o loʻo tuʻuina atu e le gaosi masini faʻapipiʻi masini Guangdong Zhenhua
Taimi meli: Iuni-19-2024