Razprševanje je pojav, pri katerem energijski delci (običajno pozitivni ioni plinov) zadenejo površino trdne snovi (v nadaljevanju imenovane ciljni material), zaradi česar atomi (ali molekule) na površini ciljnega materiala uidejo iz njega.
Ta pojav je Grove odkril leta 1842, ko je bil katodni material med poskusom za preučevanje katodne korozije premaknjen na steno vakuumske cevi. Ta metoda naprševanja pri nanašanju tankih filmov na substrat je bila odkrita leta 1877. Zaradi uporabe te metode nanašanja tankih filmov v zgodnjih fazah je hitrost naprševanja nizka in hitrost filma počasna. Zaradi visokega tlaka v napravi je treba prehajati v afektivni plin in drugih težav. Razvoj je zelo počasen in skoraj izključen, le v kemično reaktivnih plemenitih kovinah, ognjevzdržnih kovinah, dielektrikih in kemičnih spojinah ter materialih se uporablja le v majhnem številu primerov. Do sedemdesetih let prejšnjega stoletja se je zaradi pojava magnetronske tehnologije naprševanja naprševanje hitro razvijalo in začelo je ponovno pridobivati na veljavi. To je zato, ker je metoda magnetronskega razprševanja lahko omejena z ortogonalnim elektromagnetnim poljem na elektronih, kar poveča verjetnost trka elektronov in molekul plina, ne le zmanjša napetost, dodano katodi, ampak tudi izboljša hitrost razprševanja pozitivnih ionov na ciljni katodi, kar zmanjša verjetnost bombardiranja substrata z elektroni in s tem zniža njegovo temperaturo, kar ima za posledico "visoka hitrost, nizka temperatura". Dve glavni značilnosti sta "visoka hitrost in nizka temperatura".
V osemdesetih letih prejšnjega stoletja, čeprav se je pojavilo le pred dvanajstimi leti, se je iz laboratorija resnično preselilo na področje industrializirane masovne proizvodnje. Z nadaljnjim razvojem znanosti in tehnologije, v zadnjih letih na področju naprševanja premazov in uvedbo naprševanja z ionskim žarkom, je bila uporabljena široka žarka močnega toka v ionskem viru v kombinaciji z modulacijo magnetnega polja in s kombinacijo konvencionalnega dipolnega naprševanja sestavljena iz novega načina naprševanja; in uveden je bil vir napajanja magnetronskega naprševanja z izmeničnim tokom srednje frekvence. Ta tehnologija magnetronskega naprševanja z izmeničnim tokom srednje frekvence, imenovana dvojno tarčno naprševanje, ne le odpravlja učinek "izginotja" anode, ampak tudi rešuje problem "zastrupitve" katode, kar močno izboljša stabilnost magnetronskega naprševanja in zagotavlja trdne temelje za industrializirano proizvodnjo tankih sestavljenih filmov. To je močno izboljšalo stabilnost magnetronskega naprševanja in zagotovilo trdne temelje za industrializirano proizvodnjo tankih sestavljenih filmov. V zadnjih letih je brizganje premazov postalo vroča nova tehnologija za pripravo filmov, aktivna na področju tehnologije vakuumskega nanašanja premazov.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 5. dec. 2023