Rozprašovanie je jav, pri ktorom energetické častice (zvyčajne kladné ióny plynov) narážajú na povrch pevnej látky (ďalej nazývanej cieľový materiál), čo spôsobuje, že atómy (alebo molekuly) na povrchu cieľového materiálu z neho unikajú.
Tento jav objavil Grove v roku 1842, keď bol materiál katódy premiestnený na stenu vákuovej trubice počas experimentu na štúdium katódovej korózie. Táto metóda naprašovania pri nanášaní tenkých vrstiev na substrát bola objavená v roku 1877. V počiatočných fázach používania tejto metódy je rýchlosť naprašovania nízka, rýchlosť filmu je nízka, musí sa nastaviť zariadenie s vysokým tlakom a prechádzať do efektívneho plynu a vzniká séria ďalších problémov, takže vývoj je veľmi pomalý a takmer eliminovaný, iba v chemicky reaktívnych drahých kovoch, žiaruvzdorných kovoch, dielektrikách a chemických zlúčeninách, materiáloch, v malom počte aplikácií. Až do 70. rokov 20. storočia sa vďaka vzniku magnetrónovej naprašovacej technológie naprašovanie rýchlo rozvíjalo a začalo sa oživovať. Je to preto, že metóda magnetrónového naprašovania môže byť obmedzená ortogonálnym elektromagnetickým poľom pôsobiacim na elektróny, čím sa zvyšuje pravdepodobnosť zrážky elektrónov s molekulami plynu, nielenže sa znižuje napätie privádzané na katódu, ale sa zlepšuje aj rýchlosť naprašovania kladných iónov na cieľovej katóde, čím sa znižuje pravdepodobnosť bombardovania substrátu elektrónmi, čím sa znižuje jeho teplota, pričom sa dosahujú dve hlavné charakteristiky: „vysoká rýchlosť a nízka teplota“.
V 80. rokoch 20. storočia, hoci sa objavilo len pred dvanástimi rokmi, sa z laboratória skutočne dostalo do oblasti industrializovanej masovej výroby. S ďalším rozvojom vedy a techniky v posledných rokoch v oblasti naprašovania a zavedením naprašovania vylepšeného iónovým lúčom sa používa široký lúč silného iónového zdroja v kombinácii s moduláciou magnetického poľa a kombináciou konvenčného dipólového naprašovania vznikol nový naprašovací režim; a zaviedlo sa strednofrekvenčné napájanie striedavým prúdom pre magnetrónový naprašovací terč. Táto strednofrekvenčná technológia striedavého magnetrónového naprašovania, nazývaná naprašovanie s dvojitým terčom, nielenže eliminuje efekt „zmiznutia“ anódy, ale rieši aj problém „otravy“ katódy, čo výrazne zlepšuje stabilitu magnetrónového naprašovania a poskytuje pevný základ pre industrializovanú výrobu tenkých zložených vrstiev. To výrazne zlepšilo stabilitu magnetrónového naprašovania a poskytlo pevný základ pre industrializovanú výrobu tenkých zložených vrstiev. V posledných rokoch sa naprašovanie stalo horúcou a rozvíjajúcou sa technológiou prípravy filmov, ktorá je aktívna v oblasti technológie vákuového nanášania.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 5. decembra 2023