عام طور تي CVD رد عمل تيز گرمي پد تي ڀاڙين ٿا، تنهن ڪري انهن کي حرارتي طور تي پرجوش ڪيميائي وانپ جمع (TCVD) سڏيو ويندو آهي. اهو عام طور تي غير نامياتي اڳڪٿي استعمال ڪندو آهي ۽ گرم ڀت ۽ ٿڌي ڀت ري ايڪٽرن ۾ ڪيو ويندو آهي. ان جي گرم طريقن ۾ ريڊيو فريڪوئنسي (RF) گرم ڪرڻ، انفراريڊ تابڪاري گرم ڪرڻ، مزاحمت گرم ڪرڻ، وغيره شامل آهن.
گرم ڀت ڪيميائي بخارات جو جمع
اصل ۾، گرم ڀت وارو ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن ري ايڪٽر هڪ ٿرموسٽٽڪ فرنس آهي، جيڪو عام طور تي مزاحمتي عنصرن سان گرم ڪيو ويندو آهي، وقفي وقفي سان پيداوار لاءِ. چپ ٽول ڪوٽنگ لاءِ گرم ڀت وارو ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن پيداوار جي سهولت جو ڊرائنگ هيٺ ڏنل ڏيکاريل آهي. هي گرم ڀت وارو ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن TiN، TiC، TiCN ۽ ٻين پتلي فلمن کي ڪوٽ ڪري سگهي ٿو. ري ايڪٽر کي ڪافي وڏي پيماني تي ڊزائين ڪري سگهجي ٿو پوءِ وڏي تعداد ۾ اجزاء رکي سگهجن ٿا، ۽ حالتن کي ڊپوزيشن لاءِ تمام صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو. تصوير 1 سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس جي پيداوار جي سلڪون ڊوپنگ لاءِ هڪ ايپيٽيڪسيل پرت ڊيوائس ڏيکاري ٿي. فرنس ۾ سبسٽريٽ کي عمودي طرف رکيل آهي ته جيئن ذرڙن پاران ڊپوزيشن مٿاڇري جي آلودگي کي گهٽائي سگهجي، ۽ پيداوار جي لوڊشيڊنگ کي تمام گهڻو وڌايو وڃي. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ گرم ڀت وارو ري ايڪٽر عام طور تي گهٽ دٻاءُ تي هلايا ويندا آهن.
پوسٽ جو وقت: نومبر-08-2022