1. آئن بيم اسپٽرنگ ڪوٽنگ
مادي جي مٿاڇري تي وچولي توانائي واري آئن بيم سان بمباري ڪئي ويندي آهي، ۽ آئن جي توانائي مواد جي ڪرسٽل جالي ۾ داخل نه ٿيندي آهي، پر توانائي کي نشانو ايٽم ڏانهن منتقل ڪندي آهي، جنهن جي ڪري اهي مواد جي مٿاڇري کان پري ٿي ويندا آهن، ۽ پوءِ ورڪ پيس تي جمع ٿيڻ سان هڪ پتلي فلم ٺاهيندا آهن. آئن بيم پاران پيدا ٿيندڙ ڦڦڙن جي ڪري، ڦڦڙن واري فلم پرت جي ايٽم جي توانائي تمام گهڻي هوندي آهي، ۽ نشانو مواد کي آئن بيم سان هڪ اعليٰ خلا ۾ بمباري ڪئي ويندي آهي، فلم پرت جي پاڪائي وڌيڪ هوندي آهي، ۽ اعليٰ معيار جون فلمون جمع ڪري سگهجن ٿيون، جڏهن ته آئن بيم فلم پرت جي استحڪام بهتر ٿيندي آهي، جيڪا فلم پرت جي آپٽيڪل ۽ ميڪيڪل خاصيتن کي بهتر بڻائڻ جو مقصد حاصل ڪري سگهي ٿي. آئن بيم اسپٽرنگ جو مقصد نئين پتلي فلم مواد ٺاهڻ آهي.
2. آئن بيم ايچنگ
آئن بيم ايچنگ پڻ مواد جي مٿاڇري تي هڪ وچولي توانائي واري آئن بيم بمباري آهي جيڪا اسپٽرنگ پيدا ڪري ٿي، سبسٽريٽ تي ايچنگ اثر، هڪ سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس، آپٽو اليڪٽرانڪ ڊوائيسز ۽ گرافڪس ڪور ٽيڪنالاجي جي پيداوار جا ٻيا شعبا آهن. سيمي ڪنڊڪٽر انٽيگريٽيڊ سرڪٽس ۾ چپس جي تياري جي ٽيڪنالاجي ۾ Φ12 انچ (Φ304.8 ملي ميٽر) جي قطر سان هڪ سنگل ڪرسٽل سلڪون ويفر تي لکين ٽرانزسٽر تيار ڪرڻ شامل آهي. هر ٽرانزسٽر پتلي فلمن جي ڪيترن ئي تہن مان ٺهيل آهي مختلف ڪمن سان، جنهن ۾ هڪ فعال پرت، هڪ موصل پرت، هڪ آئسوليشن پرت، ۽ هڪ ڪنڊڪٽو پرت شامل آهن. هر فنڪشنل پرت جو پنهنجو نمونو هوندو آهي، تنهن ڪري فنڪشنل فلم جي هر پرت کي پليٽ ڪرڻ کان پوءِ، بيڪار حصن کي آئن بيم سان ايچ ڪرڻ جي ضرورت آهي، مفيد فلم جي اجزاء کي برقرار رکندي. اڄڪلهه، چپ جي تار جي ويڪر 7 ملي ميٽر تائين پهچي چڪي آهي، ۽ اهڙي سٺي نموني تيار ڪرڻ لاءِ آئن بيم ايچنگ ضروري آهي. آئن بيم ايچنگ هڪ خشڪ ايچنگ طريقو آهي جنهن ۾ شروعات ۾ استعمال ٿيندڙ ويٽ ايچنگ طريقي جي مقابلي ۾ اعليٰ ايچنگ جي درستگي آهي.
آئن بيم ايچنگ ٽيڪنالاجي غير فعال آئن بيم ايچنگ سان ۽ فعال آئن بيم ايچنگ ٻن قسمن سان. پهريون آرگن آئن بيم ايچنگ سان، جسماني رد عمل سان تعلق رکي ٿو؛ بعد ۾ فلورين آئن بيم اسپٽرنگ سان، فلورين آئن بيم ٽرامپ جو ڪردار پيدا ڪرڻ لاءِ اعليٰ توانائي کان علاوه، فلورين آئن بيم کي SiO سان پڻ ايچ ڪري سگهجي ٿو.2سي3N4、GaA、W ۽ ٻين پتلي فلمن ۾ ڪيميائي رد عمل هوندو آهي، اهو ٻئي جسماني رد عمل جو عمل آهي، پر آئن بيم ايچنگ ٽيڪنالاجي جي ڪيميائي رد عمل جو عمل پڻ آهي، ايچنگ جي شرح تيز آهي. رد عمل ايچنگ corrosive گيسون CF آهن.4، سي2F6سي سي ايل 4، بي سي ايل3، وغيره، SiF لاءِ پيدا ٿيل ري ايڪٽنٽ4سي ايل4جي سي ايل3؛، ۽ ڊبليو ايف6 ڇا corrosive گيسون ڪڍيون وينديون آهن. آئن بيم ايچنگ ٽيڪنالاجي اعليٰ ٽيڪنالاجي شين جي پيداوار لاءِ اهم ٽيڪنالاجي آهي.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: آڪٽوبر-24-2023