(3) ريڊيو فريڪوئنسي پلازما سي وي ڊي (آر ايف سي وي ڊي) آر ايف کي ٻن مختلف طريقن سان پلازما پيدا ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو، ڪيپيسٽيو ڪپلنگ طريقو ۽ انڊڪٽيو ڪپلنگ طريقو. آر ايف پلازما سي وي ڊي 13.56 ميگا هرٽز جي فريڪوئنسي استعمال ڪري ٿو. آر ايف پلازما جو فائدو اهو آهي ته اهو مائڪرو ويڪرو پلازما جي ڀيٽ ۾ تمام وڏي علائقي تي ڦهلجي ٿو. بهرحال، آر ايف ڪيپيسٽيو ڪپلنگ پلازما جي حد اها آهي ته پلازما جي فريڪوئنسي اسپٽرنگ لاءِ بهترين ناهي، خاص طور تي جيڪڏهن پلازما ۾ آرگن شامل هجي. ڪيپيسٽيو ڪپلنگ پلازما اعليٰ معيار جي هيرن جي فلمن کي وڌائڻ لاءِ مناسب ناهي ڇاڪاڻ ته پلازما مان آئن بمباري هيرن کي سخت نقصان پهچائي سگهي ٿي. پولي ڪرسٽل لائن هيرن جون فلمون آر ايف انڊيوسڊ پلازما استعمال ڪندي مائڪرو ويڪرو پلازما سي وي ڊي وانگر جمع حالتن هيٺ پوکيون ويون آهن. آر ايف انڊيوسڊ پلازما-اينهانسڊ سي وي ڊي استعمال ڪندي هم جنس ايپيٽيڪسيل هيرن جون فلمون پڻ حاصل ڪيون ويون آهن.
(4) ڊي سي پلازما سي وي ڊي
ڊي سي پلازما هيرن جي فلم جي واڌ ويجهه لاءِ گئس جي ذريعن (عام طور تي H2 ۽ هائيڊرو ڪاربن گئس جو مرکب) کي چالو ڪرڻ جو هڪ ٻيو طريقو آهي. ڊي سي پلازما جي مدد سان CVD ۾ هيرن جي فلمن جي وڏي ايراضي کي وڌائڻ جي صلاحيت آهي، ۽ واڌ واري علائقي جو سائز صرف اليڪٽروڊ ۽ ڊي سي پاور سپلائي جي سائيز تائين محدود آهي. ڊي سي پلازما جي مدد سان CVD جو هڪ ٻيو فائدو ڊي سي انجيڪشن جي ٺهڻ آهي، ۽ هن سسٽم ذريعي حاصل ڪيل عام هيرن جون فلمون 80 ملي ميٽر في ڪلاڪ جي شرح سان جمع ڪيون وينديون آهن. ان کان علاوه، جيئن ته مختلف ڊي سي آرڪ طريقا غير هيرن جي سبسٽريٽس تي اعليٰ معيار جي هيرن جي فلمن کي اعليٰ جمع جي شرح تي جمع ڪري سگهن ٿا، اهي هيرن جي فلمن جي جمع لاءِ هڪ قابلِ مارڪيٽ طريقو مهيا ڪن ٿا.
(5) اليڪٽران سائڪلوٽرون گونج مائڪرو ويڪرو پلازما بهتر ڪيل ڪيميائي بخار جمع (ECR-MPECVD) اڳ بيان ڪيل ڊي سي پلازما، آر ايف پلازما، ۽ مائڪرو ويڪرو پلازما سڀ H2، يا هائيڊرو ڪاربن کي ايٽمي هائيڊروجن ۽ ڪاربن-هائيڊروجن ايٽم گروپن ۾ ورهائي ۽ ختم ڪن ٿا، ان ڪري هيرن جي پتلي فلمن جي ٺهڻ ۾ حصو وٺندا آهن. جيئن ته اليڪٽران سائڪلوٽرون گونج پلازما اعلي کثافت پلازما (> 1x1011cm-3) پيدا ڪري سگهي ٿو، ECR-MPECVD هيرن جي فلمن جي واڌ ۽ جمع لاءِ وڌيڪ موزون آهي. جڏهن ته، ECR عمل ۾ استعمال ٿيندڙ گهٽ گئس پريشر (10-4- کان 10-2 ٽور) جي ڪري، جنهن جي نتيجي ۾ هيرن جي فلمن جي گهٽ جمع جي شرح پيدا ٿئي ٿي، طريقو هن وقت صرف ليبارٽري ۾ هيرن جي فلمن جي جمع لاءِ مناسب آهي.
- هي مضمون ويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙ گوانگ ڊونگ زينهوا پاران جاري ڪيو ويو آهي.
پوسٽ جو وقت: جون-19-2024