Получение вакуума также известно как «вакуумная откачка», что относится к использованию различных вакуумных насосов для удаления воздуха внутри контейнера, так что давление внутри пространства падает ниже одной атмосферы. В настоящее время для получения вакуума обычно используются такие устройства, как роторно-пластинчатые механические вакуумные насосы, насосы Рутса, масляные диффузионные насосы, композитные молекулярные насосы, адсорбционные насосы с молекулярным ситом, насосы сублимации титана, насосы распыления ионов и криогенные насосы и так далее. В этих насосах первые четыре насоса классифицируются как насосы для перекачки газа (перекачивающие вакуумные насосы), что означает, что молекулы газа непрерывно всасываются в вакуумный насос и выбрасываются во внешнюю среду для осуществления вакуумирования; последние четыре насоса классифицируются как насосы для захвата газа (захватные вакуумные насосы), которые молекулярно конденсируются или химически связываются на внутренней стенке насосной камеры для получения необходимого вакуума. Газоулавливающие насосы также называются безмасляными вакуумными насосами, поскольку они не используют масло в качестве рабочей среды. В отличие от перекачивающих насосов, которые постоянно удаляют газ, некоторые газоулавливающие насосы являются обратимыми, что позволяет сбрасывать собранный или сконденсированный газ обратно в систему во время процесса нагрева.
Перекачивающие вакуумные насосы делятся на две основные категории: объемные и импульсные. Объемные перекачивающие насосы обычно включают пластинчато-роторные механические насосы, жидкостно-кольцевые насосы, поршневые насосы и насосы Рутса; импульсные перекачивающие вакуумные насосы обычно включают молекулярные насосы, струйные насосы, масляные диффузионные насосы. Захватывающие вакуумные насосы обычно включают низкотемпературные адсорбционные и распылительные ионные насосы.
В целом, процесс нанесения покрытия отличается, вакуум в камере вакуумного покрытия должен достигать разных уровней, а в вакуумной технологии больше к фоновому вакууму (также известному как собственный вакуум), чтобы выразить его уровень. Фоновый вакуум относится к вакууму в камере вакуумного покрытия через вакуумный насос для удовлетворения потребностей процесса нанесения покрытия в самом высоком вакууме, и размер этого вакуума, в основном, зависит от мощности вакуумной откачки. Вакуумная камера нанесения покрытия с помощью вакуума своей вакуумной системы может достигать самого высокого вакуума, называемого предельным вакуумом (или предельным давлением). В таблице 1-2 перечислены диапазоны рабочего давления некоторых распространенных вакуумных насосов и предельное давление, которое можно получить. Затененные части таблицы представляют собой давления, которые можно получить с помощью каждого вакуумного насоса при использовании в сочетании с другим оборудованием.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 30-авг-2024