Obținerea vidului este cunoscută și sub denumirea de „pompare în vid”, care se referă la utilizarea diferitelor pompe de vid pentru a elimina aerul din interiorul recipientului, astfel încât presiunea din interiorul spațiului să scadă sub o atmosferă. În prezent, pentru a obține vidul, există dispozitive utilizate în mod obișnuit, inclusiv pompe de vid mecanice cu palete rotative, pompe Roots, pompe de difuzie a uleiului, pompe moleculare compozite, pompe de adsorbție cu sită moleculară, pompe de sublimare a titanului, pompe de ioni prin pulverizare catodică și pompe criogenice și așa mai departe. În cadrul acestor pompe, primele patru pompe sunt clasificate ca pompe de transfer de gaz (pompe de vid de transfer), ceea ce înseamnă că moleculele de gaz sunt aspirate continuu în pompa de vid și evacuate în mediul extern pentru a realiza evacuarea; ultimele patru pompe sunt clasificate ca pompe de captare a gazului (pompe de vid de captare), care sunt condensate molecular sau legate chimic pe peretele interior al camerei de pompare pentru a obține vidul necesar. Pompele de captare a gazului sunt numite și pompe de vid fără ulei, deoarece nu utilizează ulei ca mediu de lucru. Spre deosebire de pompele de transfer, care elimină permanent gazul, unele pompe de captare sunt reversibile, permițând gazului colectat sau condensat să fie evacuat înapoi în sistem în timpul procesului de încălzire.
Pompele de vid cu transfer sunt împărțite în două categorii principale: volumetrice și pompe de transfer de impuls. Pompele de transfer volumetrice includ de obicei pompe mecanice cu palete rotative, pompe cu inel lichid, pompe cu piston și pompe Roots; pompele de vid cu transfer de impuls includ de obicei pompe moleculare, pompe cu jet, pompe de difuzie a uleiului. Pompele de vid cu captare includ de obicei pompe de adsorbție la temperatură joasă și pompe de ioni prin pulverizare catodică.
În general, procesul de acoperire este diferit, vidul din camera de acoperire în vid trebuie să atingă niveluri diferite, iar în tehnologia cu vid, nivelul acestuia se exprimă mai degrabă prin vidul de fond (cunoscut și sub numele de vid intrinsec). Vidul de fond se referă la vidul din camera de acoperire în vid realizat de pompa de vid pentru a satisface nevoile procesului de acoperire la cel mai înalt vid, iar dimensiunea acestui vid depinde în principal de capacitatea de pompare cu vid. Vidul din camera de acoperire în vid, prin intermediul sistemului său de vid, poate atinge cel mai înalt vid, numit vid limită (sau presiune limită). Tabelul 1-2 prezintă intervalul de presiune de lucru al unor pompe de vid comune și presiunea finală care poate fi obținută. Porțiunile umbrite ale tabelului reprezintă presiunile care pot fi obținute de fiecare pompă de vid atunci când este utilizată în combinație cu alte echipamente.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 30 august 2024