A obtenção de vácuo também é conhecida como "bombeamento a vácuo", que se refere ao uso de diferentes bombas de vácuo para remover o ar de dentro do recipiente, de modo que a pressão dentro do espaço caia para menos de uma atmosfera. Atualmente, para obter o vácuo, dispositivos comumente usados incluem bombas de vácuo mecânicas de palhetas rotativas, bombas Roots, bombas de difusão de óleo, bombas moleculares compostas, bombas de adsorção de peneira molecular, bombas de sublimação de titânio, bombas de íons de pulverização catódica e bombas criogênicas e assim por diante. Nessas bombas, as quatro primeiras bombas são categorizadas como bombas de transferência de gás (bombas de vácuo de transferência), o que significa que as moléculas de gás são continuamente sugadas para dentro da bomba de vácuo e descarregadas para o ambiente externo para realizar a evacuação; as últimas quatro bombas são categorizadas como bombas de captura de gás (bombas de vácuo de captura), que são condensadas molecularmente ou quimicamente ligadas na parede interna da câmara de bombeamento para obter o vácuo necessário. As bombas de captura de gás também são chamadas de bombas de vácuo isentas de óleo porque não usam óleo como meio de trabalho. Ao contrário das bombas de transferência, que removem o gás permanentemente, algumas bombas de captura são reversíveis, permitindo que o gás coletado ou condensado seja descarregado de volta no sistema durante o processo de aquecimento.
As bombas de vácuo de transferência são divididas em duas categorias principais: volumétrica e de momento. As bombas de transferência volumétrica geralmente incluem bombas mecânicas de palhetas rotativas, bombas de anel líquido, bombas reciprocantes e bombas Roots; as bombas de vácuo de transferência de momento geralmente incluem bombas moleculares, bombas de jato e bombas de difusão de óleo. As bombas de vácuo de captura geralmente incluem bombas de adsorção de baixa temperatura e bombas de íons de pulverização catódica.
Em geral, o processo de revestimento é diferente. O vácuo da câmara de revestimento a vácuo deve atingir diferentes níveis. Na tecnologia de vácuo, o vácuo de fundo (também conhecido como vácuo intrínseco) é usado para expressar seu nível. O vácuo de fundo refere-se ao vácuo da câmara de revestimento a vácuo através da bomba de vácuo para atender às necessidades do processo de revestimento do vácuo mais alto, e o tamanho desse vácuo depende principalmente da capacidade de bombeamento de vácuo. A sala de revestimento a vácuo, por meio de seu sistema de vácuo, pode atingir o vácuo mais alto, que é chamado de vácuo limite (ou pressão limite). A Tabela 1-2 lista a faixa de pressão de trabalho de algumas bombas de vácuo comuns e a pressão máxima que pode ser obtida. As partes sombreadas da tabela representam as pressões que podem ser obtidas por cada bomba de vácuo quando usada em combinação com outros equipamentos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 30 de agosto de 2024