۱. د ایون بیم سپټرینګ کوټینګ
د موادو سطحه د منځنۍ انرژۍ ایون بیم سره بمبار کیږي، او د ایونونو انرژي د موادو کرسټال جالی ته نه ننوځي، مګر انرژي هدف اتومونو ته لیږدوي، چې له امله یې دوی د موادو له سطحې څخه لرې کیږي، او بیا د ورک پیس په زیرمه کولو سره یو پتلی فلم جوړوي. د ایون بیم لخوا تولید شوي سپټرینګ له امله، د سپټر شوي فلم پرت اتومونو انرژي خورا لوړه ده، او هدف مواد د ایون بیم سره په لوړ خلا کې بمبار کیږي، د فلم پرت پاکوالی لوړ دی، او لوړ کیفیت لرونکي فلمونه زیرمه کیدی شي، پداسې حال کې چې د آیون بیم فلم پرت ثبات ښه شوی، کوم چې کولی شي د فلم پرت د نظری او میخانیکي ملکیتونو ښه کولو هدف ترلاسه کړي. د ایون بیم سپټرینګ هدف د نوي پتلي فلم موادو جوړول دي.
۲. د ایون بیم ایچنګ
د ایون بیم ایچنګ هم د موادو په سطحه د متوسطې انرژۍ ایون بیم بمباري ده چې د سبسټریټ باندې د ایچنګ اغیز تولیدوي، د سیمیکمډکټر وسیله ده، آپټو الیکترونیکي وسایل او د ګرافیک کور ټیکنالوژۍ د تولید نورې برخې دي. د سیمیکمډکټر مدغم سرکټونو کې د چپس لپاره د چمتو کولو ټیکنالوژي د Φ12in (Φ304.8mm) قطر سره په یو واحد کرسټال سیلیکون ویفر کې د ملیونونو ټرانزیسټرونو چمتو کول شامل دي. هر ټرانزیسټر د پتلو فلمونو له څو پرتونو څخه جوړ شوی چې مختلف دندې لري، چې پکې یو فعال پرت، یو انسولیټینګ پرت، یو جلا کوونکی پرت، او یو کنډکټیو پرت شامل دي. هر فعال پرت خپل نمونه لري، نو د فعال فلم هر پرت پلیټ کولو وروسته، بې ګټې برخې باید د آیون بیم سره ایچ شي، چې ګټور فلم اجزا یې په سمه توګه پریږدي. نن ورځ، د چپ تار پلنوالی 7mm ته رسیدلی، او د داسې ښه نمونې چمتو کولو لپاره د آیون بیم ایچنګ اړین دی. د آیون بیم ایچنګ د وچ ایچنګ میتود دی چې د پیل کې کارول شوي لوند ایچنګ میتود په پرتله د ایچنګ لوړ دقت لري.
د ایون بیم ایچنګ ټیکنالوژي د غیر فعال ایون بیم ایچنګ سره او د فعال ایون بیم ایچنګ سره په دوه ډوله. پخوانی د ارګون ایون بیم ایچنګ سره، د فزیکي تعامل پورې اړه لري؛ وروستی د فلورین ایون بیم سپټرینګ سره، د فلورین ایون بیم د ټرامپ رول تولیدولو لپاره د لوړې انرژۍ سربیره، د فلورین ایون بیم هم د SiO سره ایچنګ کیدی شي.2سي3N4、GaA、W او نور پتلي فلمونه کیمیاوي تعامل لري، دا دواړه د فزیکي تعامل پروسه ده، مګر د ایون بیم ایچینګ ټیکنالوژۍ کیمیاوي تعامل پروسه هم ده، د ایچینګ کچه ګړندۍ ده. د عکس العمل ایچینګ زنګ وهونکي ګازونه CF دي4ج2F6、سي سي ايل۴、بي سي ايل3، او داسې نور، د SiF لپاره تولید شوي تعامل کونکي4سي سي ايل4、جي سي ایل3؛، او ډبلیو ایف6 د زنګ وهونکو ګازونو استخراج کیږي. د ایون بیم ایچنګ ټیکنالوژي د لوړ ټیکنالوژۍ محصولاتو تولید لپاره کلیدي ټیکنالوژي ده.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: د اکتوبر-۲۴-۲۰۲۳