(۳) د راډیو فریکونسي پلازما CVD (RFCVD) RF د پلازما تولید لپاره د دوو مختلفو میتودونو څخه کار اخیستل کیدی شي، د ظرفیت لرونکي کوپلینګ میتود او د انډکټیو کوپلینګ میتود. د RF پلازما CVD د 13.56 MHz فریکونسي کاروي. د RF پلازما ګټه دا ده چې دا د مایکروویو پلازما په پرتله په ډیره لویه ساحه کې خپریږي. په هرصورت، د RF ظرفیت لرونکي کوپلینګ پلازما محدودیت دا دی چې د پلازما فریکونسي د سپټر کولو لپاره غوره نه ده، په ځانګړې توګه که چیرې پلازما ارګون ولري. ظرفیت لرونکي کوپلینګ پلازما د لوړ کیفیت لرونکي الماس فلمونو د ودې لپاره مناسب نه دی ځکه چې د پلازما څخه د ایون بمبار کول کولی شي الماس ته سخت زیان ورسوي. پولی کریسټالین الماس فلمونه د مایکروویو پلازما CVD ته ورته د زیرمو شرایطو لاندې د RF هڅول شوي پلازما په کارولو سره کرل شوي دي. همجنسي ایپیټیکسیل الماس فلمونه هم د RF هڅول شوي پلازما-زیات شوي CVD په کارولو سره ترلاسه شوي دي.
(۴) د ډي سي پلازما سي وي ډي
د ډي سي پلازما د الماس فلم ودې لپاره د ګاز سرچینې (عموما د H2 او هایدروکاربن ګاز مخلوط) د فعالولو بله طریقه ده. د ډي سي پلازما په مرسته CVD د الماس فلمونو لویو ساحو د ودې وړتیا لري، او د ودې ساحې اندازه یوازې د الکترودونو او د ډي سي بریښنا رسولو اندازې پورې محدوده ده. د ډي سي پلازما په مرسته CVD بله ګټه د ډي سي انجیکشن جوړول دي، او د دې سیسټم لخوا ترلاسه شوي عادي الماس فلمونه د 80 ملي میتر / ساعت په سرعت سره زیرمه کیږي. سربیره پردې، څرنګه چې د ډي سي آرک مختلف میتودونه کولی شي د لوړ کیفیت الماس فلمونه په غیر الماس سبسټریټونو کې د لوړ زیرمه کولو نرخونو کې زیرمه کړي، دوی د الماس فلمونو د زیرمه کولو لپاره د بازار وړ میتود چمتو کوي.
(۵) د الکترون سایکلوټرون ریزونانس مایکروویو پلازما د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو لوړول (ECR-MPECVD) هغه DC پلازما، RF پلازما، او مایکروویو پلازما چې مخکې تشریح شوي ټول H2، یا هایدروکاربنونه په اټومي هایدروجن او کاربن-هایډروجن اتوم ګروپونو کې جلا کوي او تجزیه کوي، په دې توګه د الماس پتلو فلمونو په جوړولو کې مرسته کوي. څرنګه چې د الکترون سایکلوټرون ریزونانس پلازما کولی شي لوړ کثافت پلازما (>1x1011cm-3) تولید کړي، ECR-MPECVD د الماس فلمونو د ودې او زیرمو لپاره ډیر مناسب دی. په هرصورت، د ECR پروسې کې کارول شوي د ټیټ ګاز فشار (10-4- څخه تر 10-2 تور) له امله، کوم چې د الماس فلمونو د زیرمو ټیټ نرخ پایله لري، دا طریقه اوس مهال یوازې په لابراتوار کې د الماس فلمونو د زیرمو لپاره مناسبه ده.
– دا مقاله د ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکي ګوانګډونګ ژین هوا لخوا خپره شوې ده
د پوسټ وخت: جون-۱۹-۲۰۲۴