Uzyskiwanie próżni jest również znane jako „pompowanie próżniowe”, co odnosi się do stosowania różnych pomp próżniowych w celu usunięcia powietrza z wnętrza pojemnika, tak aby ciśnienie wewnątrz przestrzeni spadło poniżej jednej atmosfery. Obecnie, aby uzyskać próżnię i powszechnie stosowane urządzenia, w tym obrotowe łopatkowe mechaniczne pompy próżniowe, pompy Rootsa, pompy dyfuzyjne oleju, kompozytowe pompy molekularne, pompy adsorpcyjne sita molekularnego, pompy sublimacji tytanu, pompy jonowe rozpylające i pompy kriogeniczne itd. W tych pompach pierwsze cztery pompy są klasyfikowane jako pompy transferowe gazu (pompy próżniowe transferowe), co oznacza, że cząsteczki gazu są stale zasysane do pompy próżniowej i odprowadzane do środowiska zewnętrznego w celu realizacji ewakuacji; ostatnie cztery pompy są klasyfikowane jako pompy wychwytujące gaz (pompy próżniowe wychwytujące), które są molekularnie skondensowane lub chemicznie związane na wewnętrznej ścianie komory pompującej w celu uzyskania wymaganej próżni. Pompy wychwytujące gaz są również nazywane bezolejowymi pompami próżniowymi, ponieważ nie wykorzystują oleju jako medium roboczego. W przeciwieństwie do pomp transferowych, które trwale usuwają gaz, niektóre pompy przechwytujące są odwracalne, co pozwala na odprowadzenie zebranego lub skroplonego gazu z powrotem do układu podczas procesu ogrzewania.
Pompy próżniowe transferowe dzielą się na dwie główne kategorie: objętościowe i transferowe pędu. Pompy objętościowe transferowe zazwyczaj obejmują pompy mechaniczne łopatkowe, pompy pierścieniowe cieczowe, pompy tłokowe i pompy Rootsa; pompy próżniowe transferowe pędu zazwyczaj obejmują pompy molekularne, pompy strumieniowe, pompy dyfuzyjne oleju. Pompy próżniowe przechwytujące zazwyczaj obejmują pompy adsorpcyjne niskotemperaturowe i pompy jonowe rozpylające.
Ogólnie rzecz biorąc, proces powlekania jest inny, próżnia komory powlekania próżniowego powinna osiągnąć różne poziomy, a w technologii próżniowej bardziej do próżni tła (znanej również jako próżnia wewnętrzna), aby wyrazić jej poziom. Próżnia tła odnosi się do próżni komory powlekania próżniowego przez pompę próżniową, aby spełnić potrzeby procesu powlekania najwyższej próżni, a wielkość tej próżni, głównie zależy od wydajności pompowania próżniowego. Pomieszczenie do powlekania próżniowego dzięki swojemu systemowi próżniowemu może osiągnąć najwyższą próżnię, nazywaną próżnią graniczną (lub ciśnieniem granicznym). Tabela 1-2 przedstawia zakres ciśnienia roboczego niektórych typowych pomp próżniowych i ostateczne ciśnienie, które można uzyskać. Zacieniowane części tabeli przedstawiają ciśnienia, które można uzyskać za pomocą każdej pompy próżniowej, gdy jest używana w połączeniu z innym sprzętem.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 30-08-2024