ସାଧାରଣତଃ CVD ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ତେଣୁ ଏହାକୁ ତାପଜ ଭାବରେ ଉତ୍ତେଜିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (TCVD) କୁହାଯାଏ। ଏହା ସାଧାରଣତଃ ଅଜୈବ ପୂର୍ବବର୍ତ୍ତୀ ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ଗରମ-ୱାଲ୍ ଏବଂ ଥଣ୍ଡା-ୱାଲ୍ ରିଆକ୍ଟରରେ କରାଯାଏ। ଏହାର ଗରମ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (RF) ଗରମ, ଇନଫ୍ରାରେଡ୍ ବିକିରଣ ଗରମ, ପ୍ରତିରୋଧ ଗରମ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
ଗରମ କାନ୍ଥ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା
ପ୍ରକୃତରେ, ଗରମ-କାନ୍ଥ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ରିଆକ୍ଟର ହେଉଛି ଏକ ଥର୍ମୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରତିରୋଧୀ ଉପାଦାନ ସହିତ ଗରମ କରାଯାଏ, ଏହା ମଧ୍ୟବର୍ତ୍ତୀ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ। ଚିପ୍ ଉପକରଣ ଆବରଣ ପାଇଁ ଏକ ଗରମ-କାନ୍ଥ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଉତ୍ପାଦନ ସୁବିଧାର ଚିତ୍ର ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି। ଏହି ଗରମ-କାନ୍ଥ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା TiN, TiC, TiCN ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ କରିପାରିବ। ରିଆକ୍ଟରକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ବଡ଼ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇପାରିବ ଏବଂ ପରେ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଉପାଦାନ ଧରି ରଖାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଜମା ପାଇଁ ଅବସ୍ଥାଗୁଡ଼ିକୁ ବହୁତ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ। ଚିତ୍ର 1 ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନର ସିଲିକନ୍ ଡୋପିଂ ପାଇଁ ଏକ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ଡିଭାଇସ୍ ଦର୍ଶାଉଛି। କଣିକା ଦ୍ୱାରା ଜମା ପୃଷ୍ଠର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଲୋଡିଂକୁ ବହୁ ପରିମାଣରେ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ଉଲ୍ବର ଦିଗରେ ରଖାଯାଇଛି। ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଗରମ-କାନ୍ଥ ରିଆକ୍ଟରଗୁଡ଼ିକ ସାଧାରଣତଃ କମ୍ ଚାପରେ ପରିଚାଳିତ ହୁଏ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର-୦୮-୨୦୨୨