୧. ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ
ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ଏକ ମଧ୍ୟମ-ଶକ୍ତି ଆୟନ ବିମ୍ ସହିତ ବୋମା ମାଡ଼ କରାଯାଏ, ଏବଂ ଆୟନଗୁଡ଼ିକର ଶକ୍ତି ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ଫଟିକ ଜାଲିରେ ପ୍ରବେଶ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପରମାଣୁକୁ ଶକ୍ତି ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରେ, ଯାହା ଫଳରେ ସେମାନେ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରୁ ଦୂରକୁ ଛିଟିକି ପଡ଼ିଥାନ୍ତି, ଏବଂ ତା’ପରେ ୱର୍କପିସ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରନ୍ତି। ଆୟନ ବିମ୍ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ସ୍ପଟରିଂ ଯୋଗୁଁ, ସ୍ପଟରିଂ ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକର ଶକ୍ତି ବହୁତ ଅଧିକ ଥାଏ, ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଏକ ଉଚ୍ଚ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ ଆୟନ ବିମ୍ ସହିତ ବୋମା ମାଡ଼ କରାଯାଏ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଶୁଦ୍ଧତା ଅଧିକ ଥାଏ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଗୁଣବତ୍ତା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରାଯାଇପାରିବ, ଯେତେବେଳେ ଆୟନ ବିମ୍ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ସ୍ଥିରତା ଉନ୍ନତ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାର ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହାସଲ କରିପାରିବ। ଆୟନ ବିମ୍ ସ୍ପଟରିଂର ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ନୂତନ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ସାମଗ୍ରୀ ଗଠନ କରିବା।
୨. ଆୟନ ବିମ୍ ଇଚିଂ
ଆୟନ ବିମ୍ ଏଚ୍ଚିଂ ମଧ୍ୟ ଏକ ମଧ୍ୟମ-ଶକ୍ତି ଆୟନ ବିମ୍ ବୋମାମାଡ଼ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ ସ୍ପଟରିଂ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏଚ୍ଚିଂ ପ୍ରଭାବ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏହା ଏକ ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣ, ଅପ୍ଟୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଡିଭାଇସ୍ ଏବଂ ଗ୍ରାଫିକ୍ସ କୋର୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉତ୍ପାଦନର ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କ୍ଷେତ୍ର। ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟରେ ଚିପ୍ସ ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ Φ12in (Φ304.8mm) ବ୍ୟାସ ସହିତ ଏକକ-କ୍ରିଷ୍ଟାଲ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରରେ ଲକ୍ଷ ଲକ୍ଷ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଟ୍ରାଞ୍ଜିଷ୍ଟର ପତଳା ଫିଲ୍ମର ଏକାଧିକ ସ୍ତରରୁ ବିଭିନ୍ନ କାର୍ଯ୍ୟ ସହିତ ନିର୍ମିତ ହୋଇଥାଏ, ଯେଉଁଥିରେ ଏକ ସକ୍ରିୟ ସ୍ତର, ଏକ ଇନସୁଲେଟିଂ ସ୍ତର, ଏକ ଆଇସୋଲେସନ୍ ସ୍ତର ଏବଂ ଏକ ପରିବାହୀ ସ୍ତର ଥାଏ। ପ୍ରତ୍ୟେକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ସ୍ତରର ନିଜସ୍ୱ ପ୍ୟାଟର୍ନ ଥାଏ, ତେଣୁ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫିଲ୍ମର ପ୍ରତ୍ୟେକ ସ୍ତର ପ୍ଲେଟେଡ୍ ହେବା ପରେ, ଅଦରକାରୀ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକୁ ଏକ ଆୟନ ବିମ୍ ସହିତ ଖୋଳିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଯାହା ଉପଯୋଗୀ ଫିଲ୍ମ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ଅକ୍ଷୁର୍ଣ୍ଣ ରଖିଥାଏ। ଆଜିକାଲି, ଚିପ୍ର ତାର ପ୍ରସ୍ଥ 7mm ରେ ପହଞ୍ଚିଛି, ଏବଂ ଏପରି ସୂକ୍ଷ୍ମ ପ୍ୟାଟର୍ନ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ଆୟନ ବିମ୍ ଖୋଳିବା ଆବଶ୍ୟକ। ଆରମ୍ଭରେ ବ୍ୟବହୃତ ଓଦା ଖୋଳିବା ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ ଆୟନ ବିମ୍ ଖୋଳିବା ଏକ ଶୁଷ୍କ ଖୋଳିବା ପଦ୍ଧତି ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଖୋଳିବା ସଠିକତା ସହିତ।
ଆୟନ ବିମ୍ ଏଚ୍ଚିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ଏଚ୍ଚିଂ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ଏଚ୍ଚିଂ ସହିତ ଦୁଇ ପ୍ରକାରର। ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ଏଚ୍ଚିଂ ସହିତ ପ୍ରଥମଟି ଭୌତିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ସହିତ ଜଡିତ; ପରବର୍ତ୍ତୀଟି ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସହିତ, ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ସହିତ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ସହିତ ଟ୍ରାମ୍ପର ଭୂମିକା ଉତ୍ପାଦନ କରେ, ଫ୍ଲୋରାଇନ୍ ଆୟନ୍ ବିମ୍ ମଧ୍ୟ SiO ସହିତ ଏଚ୍ଚିଂ କରାଯାଇପାରିବ।2,ସି3N4、GaA、W ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଏକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଅଛି, ଏହା ଉଭୟ ଭୌତିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା, କିନ୍ତୁ ଆୟନ ବିମ୍ ଏଚିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିର ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟ, ଏଚିଂ ହାର ଦ୍ରୁତ। ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏଚିଂ କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ CF4,ସି2F6、CCl4、BCl3, ଇତ୍ୟାଦି, SiF ପାଇଁ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାକାରୀ4,ସିସିଏଲ4,ଜିସିଏଲ3;、ଏବଂ WF6 କର୍କଷ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରାଯାଏ। ଆୟନ୍ ବିମ୍ ଏଚିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଉତ୍ପାଦ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ପ୍ରମୁଖ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅକ୍ଟୋବର-୨୪-୨୦୨୩