(3) ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ପ୍ଲାଜ୍ମା CVD (RFCVD) ଦୁଇଟି ଭିନ୍ନ ପଦ୍ଧତି ଦ୍ୱାରା ପ୍ଲାଜ୍ମା ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ RF ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, କ୍ୟାପାସିଟିଭ୍ କପଲିଂ ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ଇନଡକ୍ଟିଭ୍ କପଲିଂ ପଦ୍ଧତି। RF ପ୍ଲାଜ୍ମା CVD 13.56 MHz ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ୍ୟବହାର କରେ। RF ପ୍ଲାଜ୍ମାର ସୁବିଧା ହେଉଛି ଯେ ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ଉପରେ ବିସ୍ତାର କରେ। ତଥାପି, RF କ୍ୟାପାସିଟିଭ୍ କପଲିଂ ପ୍ଲାଜ୍ମାର ସୀମା ହେଉଛି ଯେ ପ୍ଲାଜ୍ମାର ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସ୍ପଟରିଂ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ, ବିଶେଷକରି ଯଦି ପ୍ଲାଜ୍ମାରେ ଆର୍ଗନ୍ ଥାଏ। କ୍ୟାପାସିଟିଭ୍ କପଲିଂ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉଚ୍ଚ ଗୁଣବତ୍ତା ହୀରା ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ କାରଣ ପ୍ଲାଜ୍ମାରୁ ଆୟନ୍ ବୋମାମାଡ଼ ହୀରାକୁ ଗୁରୁତର କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଇପାରେ। ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜ୍ମା CVD ପରି ଡିପୋଜିସନ୍ ଅବସ୍ଥାରେ RF ପ୍ରେରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ବ୍ୟବହାର କରି ପଲିକ୍ରିଷ୍ଟାଲାଇନ୍ ହୀରା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ବୃଦ୍ଧି କରାଯାଇଛି। RF-ପ୍ରେରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା-ଉନ୍ନତ CVD ବ୍ୟବହାର କରି ସମଜାତୀୟ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ହୀରା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟ ପ୍ରାପ୍ତ କରାଯାଇଛି।
(୪) ଡିସି ପ୍ଲାଜମା ସିଭିଡି
ହୀରା ଫିଲ୍ମ ବୃଦ୍ଧି ପାଇଁ ଗ୍ୟାସ୍ ଉତ୍ସ (ସାଧାରଣତଃ H2 ଏବଂ ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନ ଗ୍ୟାସର ମିଶ୍ରଣ) ସକ୍ରିୟ କରିବାର ଅନ୍ୟ ଏକ ପଦ୍ଧତି ହେଉଛି DC ପ୍ଲାଜ୍ମା। DC ପ୍ଲାଜ୍ମା-ସହାୟତାପ୍ରାପ୍ତ CVD ହୀରା ଫିଲ୍ମର ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ବୃଦ୍ଧି କରିବାର କ୍ଷମତା ରଖେ, ଏବଂ ବୃଦ୍ଧି କ୍ଷେତ୍ରର ଆକାର କେବଳ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ଏବଂ DC ପାୱାର ସପ୍ଲାଏର ଆକାର ଦ୍ୱାରା ସୀମିତ। DC ପ୍ଲାଜ୍ମା-ସହାୟତାପ୍ରାପ୍ତ CVD ର ଆଉ ଏକ ସୁବିଧା ହେଉଛି ଏକ DC ଇଞ୍ଜେକ୍ସନର ଗଠନ, ଏବଂ ଏହି ସିଷ୍ଟମ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାପ୍ତ ସାଧାରଣ ହୀରା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ 80 mm/h ହାରରେ ଜମା ହୋଇଥାଏ। ଏହା ସହିତ, ବିଭିନ୍ନ DC ଆର୍କ୍ ପଦ୍ଧତିଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାରରେ ଅଣ-ହୀରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ହୀରା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିପାରିବ, ତେଣୁ ସେମାନେ ହୀରା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଜମା ପାଇଁ ଏକ ବଜାରଯୋଗ୍ୟ ପଦ୍ଧତି ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି।
(5) ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରେଜୋନାନ୍ସ ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉନ୍ନତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (ECR-MPECVD) ପୂର୍ବରୁ ବର୍ଣ୍ଣିତ DC ପ୍ଲାଜ୍ମା, RF ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜ୍ମା ସମସ୍ତ H2, କିମ୍ବା ହାଇଡ୍ରୋକାର୍ବନକୁ ପରମାଣୁ ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ଏବଂ କାର୍ବନ-ହାଇଡ୍ରୋଜେନ୍ ପରମାଣୁ ଗୋଷ୍ଠୀରେ ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ଏବଂ ବିଘଟିତ କରନ୍ତି, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ହୀରା ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଗଠନରେ ଯୋଗଦାନ କରନ୍ତି। ଯେହେତୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରେଜୋନାନ୍ସ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଉଚ୍ଚ ଘନତା ପ୍ଲାଜ୍ମା (>1x1011cm-3) ଉତ୍ପାଦନ କରିପାରିବ, ECR-MPECVD ହୀରା ଫିଲ୍ମର ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଜମା ପାଇଁ ଅଧିକ ଉପଯୁକ୍ତ। ତଥାପି, ECR ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ କମ୍ ଗ୍ୟାସ ଚାପ (10-4- ରୁ 10-2 Torr) ଯୋଗୁଁ, ଯାହାର ପରିଣାମ ସ୍ୱରୂପ ହୀରା ଫିଲ୍ମର କମ୍ ଜମା ହାର ହୋଇଥାଏ, ଏହି ପଦ୍ଧତି ବର୍ତ୍ତମାନ କେବଳ ପରୀକ୍ଷାଗାରରେ ହୀରା ଫିଲ୍ମର ଜମା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଝେନହୁଆ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛି।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍-୧୯-୨୦୨୪