Vakuumoppretting er også kjent som «vakuumpumping», som refererer til bruken av forskjellige vakuumpumper for å fjerne luften inne i beholderen, slik at trykket inne i rommet faller til under én atmosfære. For å oppnå vakuum brukes det i dag vanlige apparater, inkludert mekaniske vakuumpumper med roterende lameller, rotpumper, oljediffusjonspumper, komposittmolekylære pumper, molekylsiktadsorpsjonspumper, titansublimeringspumper, sputterionpumper og kryogene pumper. I disse pumpene er de fire første pumpene kategorisert som gassoverføringspumper (overføringsvakuumpumper), som betyr at gassmolekylene kontinuerlig suges inn i vakuumpumpen og slippes ut til det ytre miljøet for å oppnå evakuering; de fire siste pumpene er kategorisert som gassfangstpumper (fangstvakuumpumper), som er molekylært kondensert eller kjemisk bundet på innerveggen av pumpekammeret for å oppnå det nødvendige vakuumet. Gassfangstpumper kalles også oljefrie vakuumpumper fordi de ikke bruker olje som arbeidsmedium. I motsetning til overføringspumper, som permanent fjerner gassen, er noen fangstpumper reversible, slik at den innsamlede eller kondenserte gassen kan slippes ut tilbake i systemet under oppvarmingsprosessen.
Overføringsvakuumpumper er delt inn i to hovedkategorier: volumetriske og momentumoverføringspumper. Volumetriske overføringspumper inkluderer vanligvis mekaniske roterende lamellpumper, væskringpumper, stempelpumper og rotpumper; momentumoverføringsvakuumpumper inkluderer vanligvis molekylære pumper, jetpumper og oljediffusjonspumper. Fangevakuumpumper inkluderer vanligvis lavtemperaturadsorpsjons- og sputterionpumper.
Generelt sett er belegningsprosessen forskjellig, vakuumet i vakuumbelegningskammeret bør nå forskjellige nivåer, og i vakuumteknologi uttrykkes dette nivået mer av bakgrunnsvakuumet (også kjent som intrinsisk vakuum). Bakgrunnsvakuumet refererer til vakuumet i vakuumbelegningskammeret gjennom vakuumpumpen for å møte behovene til belegningsprosessen med det høyeste vakuumet, og størrelsen på dette vakuumet avhenger hovedsakelig av vakuumpumpekapasiteten. Vakuumbelegningsrommets vakuumsystem kan nå det høyeste vakuumet og kalles grensevakuumet (eller grensetrykket). Tabell 1-2 viser arbeidstrykkområdet for noen vanlige vakuumpumper og det ultimate trykket som kan oppnås. De skyggelagte delene av tabellen representerer trykkene som kan oppnås med hver vakuumpumpe når den brukes i kombinasjon med annet utstyr.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 30. august 2024