Vacuümpompen wordt ook wel "vacuümpompen" genoemd. Dit verwijst naar het gebruik van verschillende vacuümpompen om de lucht in de container te verwijderen, zodat de druk in de ruimte daalt tot onder één atmosfeer. Om vacuüm te verkrijgen, worden momenteel veelgebruikte apparaten gebruikt, zoals roterende schuifvacuümpompen, Roots-pompen, oliediffusiepompen, moleculaire composietpompen, moleculaire zeefadsorptiepompen, titaniumsublimatiepompen, sputterionenpompen en cryogene pompen, enzovoort. De eerste vier pompen van deze pompen worden gecategoriseerd als gastransportpompen (transfervacuümpompen). Dit betekent dat de gasmoleculen continu in de vacuümpomp worden gezogen en naar de buitenomgeving worden afgevoerd om de evacuatie te realiseren. De laatste vier pompen worden gecategoriseerd als gasopvangpompen (capture vacuum pumps). Deze pompen worden moleculair gecondenseerd of chemisch gebonden aan de binnenwand van de pompkamer om het vereiste vacuüm te verkrijgen. Gasopvangpompen worden ook wel olievrije vacuümpompen genoemd, omdat ze geen olie als werkmedium gebruiken. In tegenstelling tot overdrachtpompen, die het gas permanent verwijderen, zijn sommige opvangpompen omkeerbaar, waardoor het verzamelde of gecondenseerde gas tijdens het verwarmingsproces weer in het systeem kan worden afgevoerd.
Transfervacuümpompen worden onderverdeeld in twee hoofdcategorieën: volumetrische en impulsoverdracht. Volumetrische transferpompen omvatten doorgaans roterende schuifschuifpompen, vloeistofringpompen, reciprocating pompen en rootspompen; impulsoverdrachtvacuümpompen omvatten doorgaans moleculaire pompen, straalpompen en oliediffusiepompen. Vangvacuümpompen omvatten doorgaans lagetemperatuuradsorptie- en sputterionenpompen.
Over het algemeen is het coatingproces anders. De vacuümkamer moet verschillende niveaus bereiken. In de vacuümtechnologie wordt het achtergrondvacuüm (ook wel intrinsiek vacuüm genoemd) gebruikt om het niveau ervan uit te drukken. Het achtergrondvacuüm verwijst naar het vacuüm van de vacuümkamer dat door de vacuümpomp wordt gebruikt om te voldoen aan de behoeften van het coatingproces. Het hoogste vacuüm wordt het limietvacuüm (of de limietdruk) genoemd. Tabel 1-2 geeft het werkdrukbereik van enkele gangbare vacuümpompen en de maximale druk weer die kan worden bereikt. De gearceerde gedeelten van de tabel geven de druk weer die elke vacuümpomp kan bereiken in combinatie met andere apparatuur.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 30-08-2024