भ्याकुम स्पटरिङ कोटिंग पुनरुत्थान र विकास

स्पटरिंग एक घटना हो जसमा ऊर्जावान कणहरू (सामान्यतया ग्यासका सकारात्मक आयनहरू) ठोसको सतहमा ठोक्किन्छन् (तल लक्षित पदार्थ भनिन्छ), जसले गर्दा लक्षित पदार्थको सतहमा रहेका परमाणुहरू (वा अणुहरू) त्यसबाट बाहिर निस्कन्छन्।

यो घटना ग्रोभले १८४२ मा पत्ता लगाएका थिए जब क्याथोडिक जंग अध्ययन गर्न प्रयोगको क्रममा क्याथोड सामग्री भ्याकुम ट्यूबको भित्तामा सारिएको थियो। पातलो फिल्महरूको सब्सट्रेट निक्षेपणमा यो स्पटरिंग विधि १८७७ मा पत्ता लागेको थियो, यो विधि प्रयोग गर्दा स्पटरिंग दरको प्रारम्भिक चरणहरूमा पातलो फिल्महरूको निक्षेपण कम, ढिलो फिल्म गति हुन्छ, उच्च-दबावको उपकरणमा सेट अप गर्नुपर्छ र प्रभावकारी ग्यास र अन्य समस्याहरूको श्रृंखलामा जानुपर्छ, त्यसैले विकास धेरै ढिलो र लगभग हटाइएको छ, केवल रासायनिक रूपमा प्रतिक्रियाशील बहुमूल्य धातुहरू, दुर्दम्य धातुहरू, डाइइलेक्ट्रिक्स, र रासायनिक यौगिकहरू, थोरै संख्यामा अनुप्रयोगहरूमा सामग्रीहरू। १९७० को दशकसम्म, म्याग्नेट्रोन स्पटरिंग प्रविधिको उदयको कारण, स्पटरिंग कोटिंग द्रुत रूपमा विकसित भएको छ, सडकको पुनरुत्थानमा प्रवेश गर्न थालेको छ। यो किनभने म्याग्नेट्रोन स्पटरिंग विधि इलेक्ट्रोनहरूमा ओर्थोगोनल इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक क्षेत्र द्वारा सीमित हुन सक्छ, इलेक्ट्रोन र ग्यास अणुहरूको टक्करको सम्भावना बढाउँदै, क्याथोडमा थपिएको भोल्टेज मात्र घटाउँदैन, र लक्ष्य क्याथोडमा सकारात्मक आयनहरूको स्पटरिंग दर सुधार गर्दछ, सब्सट्रेटमा इलेक्ट्रोनहरूको बमबारी हुने सम्भावना कम गर्दै, जसले गर्दा यसको तापक्रम घट्छ, "उच्च गति, कम तापक्रम" को दुई मुख्य विशेषताहरू।

१९८० को दशकसम्म, यो केवल एक दर्जन वर्ष मात्र देखा परे पनि, यो प्रयोगशालाबाट अलग देखिन्छ, वास्तवमा औद्योगिकीकृत ठूलो उत्पादनको क्षेत्रमा। विज्ञान र प्रविधिको थप विकाससँगै, हालका वर्षहरूमा स्पटरिङ कोटिंगको क्षेत्रमा र आयन बीम बृद्धि गरिएको स्पटरिङको परिचय, चुम्बकीय क्षेत्र मोड्युलेसनसँग जोडिएको बलियो वर्तमान आयन स्रोतको फराकिलो बीमको प्रयोग, र नयाँ स्पटरिङ मोडबाट बनेको परम्परागत द्विध्रुवीय स्पटरिङको संयोजनको साथ; र म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ लक्ष्य स्रोतमा मध्यवर्ती-फ्रिक्वेन्सी वैकल्पिक वर्तमान पावर आपूर्तिको परिचय हुनेछ। यो मध्यम-फ्रिक्वेन्सी एसी म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ प्रविधि, जसलाई ट्विन टार्गेट स्पटरिङ भनिन्छ, ले एनोडको "गायब" प्रभावलाई मात्र हटाउँदैन, तर क्याथोडको "विषाक्तता" समस्यालाई पनि समाधान गर्दछ, जसले म्याग्नेट्रोन स्पटरिङको स्थिरतालाई धेरै सुधार गर्दछ, र कम्पाउन्ड पातलो फिल्महरूको औद्योगिक उत्पादनको लागि ठोस आधार प्रदान गर्दछ। यसले म्याग्नेट्रोन स्पटरिङको स्थिरतामा धेरै सुधार गरेको छ र कम्पाउन्ड पातलो फिल्महरूको औद्योगिक उत्पादनको लागि ठोस आधार प्रदान गरेको छ। हालैका वर्षहरूमा, स्पटरिङ कोटिंग एक तातो उदीयमान फिल्म तयारी प्रविधि बनेको छ, भ्याकुम कोटिंग प्रविधिको क्षेत्रमा सक्रिय.

- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua