Il-kisba tal-vakwu hija magħrufa wkoll bħala "ippumpjar bil-vakwu", li tirreferi għall-użu ta' pompi tal-vakwu differenti biex ineħħu l-arja ġewwa l-kontenitur, sabiex il-pressjoni ġewwa l-ispazju tinżel taħt atmosfera waħda. Fil-preżent, sabiex jinkiseb il-vakwu u apparati użati komunement inklużi pompi tal-vakwu mekkaniċi b'paletti rotatorji, pompi Roots, pompi għad-diffużjoni taż-żejt, pompi molekulari komposti, pompi ta' adsorbiment b'għarbiel molekulari, pompi ta' sublimazzjoni tat-titanju, pompi tal-jone sputtering u pompi krijoġeniċi eċċ. F'dawn il-pompi, l-ewwel erba' pompi huma kkategorizzati bħala pompi tat-trasferiment tal-gass (pompi tal-vakwu tat-trasferiment), li jfisser li l-molekuli tal-gass huma kontinwament miġbuda fil-pompa tal-vakwu u skarikati fl-ambjent estern biex titwettaq l-evakwazzjoni; l-aħħar erba' pompi huma kkategorizzati bħala pompi tal-qbid tal-gass (pompi tal-vakwu tal-qbid), li huma kkondensati molekularment jew marbuta kimikament mal-ħajt ta' ġewwa tal-kompartiment tal-ippumpjar biex jinkiseb il-vakwu meħtieġ. Il-pompi tal-qbid tal-gass jissejħu wkoll pompi tal-vakwu mingħajr żejt għaliex ma jużawx żejt bħala mezz tax-xogħol. B'differenza mill-pompi tat-trasferiment, li jneħħu l-gass b'mod permanenti, xi pompi tal-qbid huma riversibbli, li jippermettu li l-gass miġbur jew ikkondensat jiġi skarikat lura fis-sistema matul il-proċess tat-tisħin.
Il-pompi tal-vakwu għat-trasferiment huma maqsuma f'żewġ kategoriji ewlenin: volumetriċi u trasferiment tal-momentum. Il-pompi tat-trasferiment volumetriċi ġeneralment jinkludu pompi mekkaniċi b'paletti rotatorji, pompi b'ċirku likwidu, pompi reċiprokanti u pompi Roots; il-pompi tal-vakwu għat-trasferiment tal-momentum ġeneralment jinkludu pompi molekulari, pompi bil-ġett, pompi għad-diffużjoni taż-żejt. Il-pompi tal-vakwu għall-qbid ġeneralment jinkludu pompi ta' adsorbiment f'temperatura baxxa u pompi ta' joni ta' sputtering.
B'mod ġenerali, il-proċess tal-kisi huwa differenti, il-vakwu tal-kamra tal-kisi bil-vakwu għandu jilħaq livelli differenti, u fit-teknoloġija tal-vakwu, aktar għall-vakwu fl-isfond (magħruf ukoll bħala vakwu intrinsiku) biex jesprimi l-livell tiegħu. Il-vakwu fl-isfond jirreferi għall-vakwu tal-kamra tal-kisi bil-vakwu permezz tal-pompa tal-vakwu biex tissodisfa l-ħtiġijiet tal-proċess tal-kisi tal-ogħla vakwu, u d-daqs ta' dan il-vakwu, jiddependi prinċipalment fuq il-kapaċità tal-ippumpjar tal-vakwu. Il-kamra tal-kisi bil-vakwu permezz tas-sistema tal-vakwu tagħha tista' tilħaq l-ogħla vakwu li jissejjaħ il-vakwu limitu (jew pressjoni limitu). It-Tabella 1-2 telenka l-firxa tal-pressjoni tax-xogħol ta' xi pompi tal-vakwu komuni u l-pressjoni aħħarija li tista' tinkiseb. Il-porzjonijiet dellija tat-tabella jirrappreżentaw il-pressjonijiet li jistgħu jinkisbu minn kull pompa tal-vakwu meta tintuża flimkien ma' tagħmir ieħor.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 30 ta' Awwissu 2024