थुंकणे ही एक अशी घटना आहे ज्यामध्ये ऊर्जावान कण (सामान्यतः वायूंचे सकारात्मक आयन) घन पदार्थाच्या पृष्ठभागावर (खाली लक्ष्य पदार्थ म्हणतात) आदळतात, ज्यामुळे लक्ष्य पदार्थाच्या पृष्ठभागावरील अणू (किंवा रेणू) त्यातून बाहेर पडतात.
१८४२ मध्ये कॅथोडिक गंजाचा अभ्यास करण्यासाठी एका प्रयोगादरम्यान कॅथोड मटेरियल व्हॅक्यूम ट्यूबच्या भिंतीवर स्थलांतरित केले तेव्हा ग्रोव्हने ही घटना शोधून काढली. पातळ फिल्म्सच्या सब्सट्रेट डिपॉझिशनमध्ये ही स्पटरिंग पद्धत १८७७ मध्ये शोधण्यात आली, या पद्धतीचा वापर केल्यामुळे स्पटरिंग रेटच्या सुरुवातीच्या टप्प्यात पातळ फिल्म्सचे डिपॉझिशन कमी, मंद फिल्म स्पीड असते, उच्च-दाबाच्या उपकरणात सेट अप केले पाहिजे आणि भावनिक वायू आणि इतर समस्यांमध्ये जावे लागते, त्यामुळे विकास खूप मंद आणि जवळजवळ काढून टाकला जातो, फक्त रासायनिक प्रतिक्रियाशील मौल्यवान धातू, रेफ्रेक्ट्री धातू, डायलेक्ट्रिक्स आणि रासायनिक संयुगे, थोड्या प्रमाणात अनुप्रयोगांवर साहित्य. १९७० पर्यंत, मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग तंत्रज्ञानाच्या उदयामुळे, स्पटरिंग कोटिंग वेगाने विकसित झाले आहे, रस्त्याच्या पुनरुज्जीवनात प्रवेश करू लागले. याचे कारण असे की मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग पद्धत इलेक्ट्रॉनवरील ऑर्थोगोनल इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक फील्डद्वारे मर्यादित केली जाऊ शकते, ज्यामुळे इलेक्ट्रॉन आणि वायू रेणूंच्या टक्करची शक्यता वाढते, कॅथोडमध्ये जोडलेले व्होल्टेज कमी होते आणि लक्ष्य कॅथोडवरील सकारात्मक आयनांचा स्पटरिंग दर सुधारतो, ज्यामुळे सब्सट्रेटवर इलेक्ट्रॉनचा भडिमार होण्याची शक्यता कमी होते, ज्यामुळे त्याचे तापमान कमी होते, "उच्च गती, कमी तापमान" ही दोन मुख्य वैशिष्ट्ये.
१९८० च्या दशकापर्यंत, जरी ते फक्त एक डझन वर्षे दिसले असले तरी, ते प्रयोगशाळेपासून वेगळे दिसते, खरोखर औद्योगिकीकृत मोठ्या प्रमाणात उत्पादनाच्या क्षेत्रात. विज्ञान आणि तंत्रज्ञानाच्या पुढील विकासासह, अलिकडच्या वर्षांत स्पटरिंग कोटिंगच्या क्षेत्रात आणि आयन बीम वर्धित स्पटरिंगच्या परिचयासह, चुंबकीय क्षेत्र मॉड्युलेशनसह एकत्रित केलेल्या मजबूत करंट आयन स्त्रोताच्या विस्तृत बीमचा वापर आणि नवीन स्पटरिंग मोडसह बनलेल्या पारंपारिक द्विध्रुवीय स्पटरिंगच्या संयोजनासह; आणि मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य स्त्रोताला इंटरमीडिएट-फ्रिक्वेन्सी अल्टरनेटिंग करंट पॉवर सप्लायची ओळख असेल. ट्विन टार्गेट स्पटरिंग नावाची ही मध्यम-फ्रिक्वेन्सी एसी मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग तंत्रज्ञान, केवळ एनोडचा "गायब होणे" प्रभाव काढून टाकत नाही तर कॅथोडची "विषबाधा" समस्या देखील सोडवते, ज्यामुळे मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंगची स्थिरता मोठ्या प्रमाणात सुधारते आणि कंपाऊंड पातळ फिल्म्सच्या औद्योगिकीकृत उत्पादनासाठी एक मजबूत पाया प्रदान करते. यामुळे मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंगची स्थिरता मोठ्या प्रमाणात सुधारली आहे आणि कंपाऊंड पातळ फिल्म्सच्या औद्योगिकीकृत उत्पादनासाठी एक मजबूत पाया प्रदान केला आहे. अलिकडच्या वर्षांत, स्पटरिंग कोटिंग ही एक उदयोन्मुख फिल्म तयारी तंत्रज्ञान बनली आहे, जी व्हॅक्यूम कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या क्षेत्रात सक्रिय आहे.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०५-२०२३