(३) रेडिओ फ्रिक्वेन्सी प्लाझ्मा सीव्हीडी (आरएफसीव्हीडी)आरएफचा वापर दोन वेगवेगळ्या पद्धतींनी प्लाझ्मा निर्माण करण्यासाठी केला जाऊ शकतो, कॅपेसिटिव्ह कपलिंग पद्धत आणि इंडक्टिव्ह कपलिंग पद्धत.आरएफ प्लाझ्मा सीव्हीडी १३.५६ मेगाहर्ट्झची वारंवारता वापरते.आरएफ प्लाझ्माचा फायदा असा आहे की तो मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मापेक्षा खूप मोठ्या क्षेत्रावर पसरतो. तथापि, आरएफ कॅपेसिटिव्हली कपल्ड प्लाझ्माची मर्यादा अशी आहे की प्लाझ्माची वारंवारता स्पटरिंगसाठी इष्टतम नाही, विशेषतः जर प्लाझ्मामध्ये आर्गॉन असेल. कॅपेसिटिव्हली कपल्ड प्लाझ्मा उच्च दर्जाच्या डायमंड फिल्म्स वाढवण्यासाठी योग्य नाही कारण प्लाझ्मामधून आयन बॉम्बर्डमेंट केल्याने हिऱ्याला गंभीर नुकसान होऊ शकते. मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मा सीव्हीडी सारख्या डिपॉझिशन परिस्थितीत आरएफ प्रेरित प्लाझ्मा वापरून पॉलीक्रिस्टलाइन डायमंड फिल्म्स वाढवल्या गेल्या आहेत. आरएफ-प्रेरित प्लाझ्मा-वर्धित सीव्हीडी वापरून एकसंध एपिटॅक्सियल डायमंड फिल्म्स देखील मिळवल्या गेल्या आहेत.
(४) डीसी प्लाझ्मा सीव्हीडी
डायमंड फिल्म वाढीसाठी गॅस स्रोत (सामान्यत: H2 आणि हायड्रोकार्बन गॅसचे मिश्रण) सक्रिय करण्याची डीसी प्लाझ्मा ही आणखी एक पद्धत आहे. डीसी प्लाझ्मा-सहाय्यित सीव्हीडीमध्ये डायमंड फिल्मचे मोठे क्षेत्र वाढवण्याची क्षमता असते आणि वाढीच्या क्षेत्राचा आकार केवळ इलेक्ट्रोड आणि डीसी पॉवर सप्लायच्या आकाराने मर्यादित असतो. डीसी प्लाझ्मा-सहाय्यित सीव्हीडीचा आणखी एक फायदा म्हणजे डीसी इंजेक्शनची निर्मिती आणि या प्रणालीद्वारे मिळवलेले सामान्य डायमंड फिल्म 80 मिमी/तास दराने जमा केले जातात. याव्यतिरिक्त, विविध डीसी आर्क पद्धती उच्च निक्षेप दराने नॉन-डायमंड सब्सट्रेट्सवर उच्च-गुणवत्तेच्या डायमंड फिल्म जमा करू शकतात, म्हणून ते डायमंड फिल्मच्या निक्षेपणासाठी एक विक्रीयोग्य पद्धत प्रदान करतात.
(५) इलेक्ट्रॉन सायक्लोट्रॉन रेझोनान्स मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (ECR-MPECVD) आधी वर्णन केलेले DC प्लाझ्मा, RF प्लाझ्मा आणि मायक्रोवेव्ह प्लाझ्मा हे सर्व H2, किंवा हायड्रोकार्बन्सचे अणु हायड्रोजन आणि कार्बन-हायड्रोजन अणु गटांमध्ये विघटन आणि विघटन करतात, ज्यामुळे डायमंड पातळ फिल्म्स तयार होतात. इलेक्ट्रॉन सायक्लोट्रॉन रेझोनान्स प्लाझ्मा उच्च घनतेचा प्लाझ्मा (>1x1011cm-3) तयार करू शकत असल्याने, ECR-MPECVD डायमंड फिल्म्सच्या वाढीसाठी आणि डिपॉझिशनसाठी अधिक योग्य आहे. तथापि, ECR प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या कमी गॅस प्रेशरमुळे (१०-४- ते १०-२ टॉर) डायमंड फिल्म्सचा कमी डिपॉझिशन रेट होतो, ही पद्धत सध्या फक्त प्रयोगशाळेत डायमंड फिल्म्सच्या डिपॉझिशनसाठी योग्य आहे.
–हा लेख व्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादक ग्वांगडोंग झेनहुआ यांनी प्रकाशित केला आहे.
पोस्ट वेळ: जून-१९-२०२४