Цэврүүтэх гэдэг нь эрч хүчтэй хэсгүүд (ихэвчлэн хийн эерэг ионууд) хатуу биетийн гадаргууд (доор нь зорилтот материал гэж нэрлэгддэг) мөргөж, зорилтот материалын гадаргуу дээрх атомууд (эсвэл молекулууд) түүнээс зугтах үзэгдэл юм.
Энэ үзэгдлийг Гроув 1842 онд катодын зэврэлтийг судлах туршилтын үеэр вакуум хоолойн хананд катодын материалыг нүүлгэн шилжүүлэх үед нээжээ. Нимгэн хальсыг субстратын давхаргад цацах энэ аргыг 1877 онд нээсэн бөгөөд энэ аргыг хэрэглэснээс болж нимгэн хальсыг түрхэх нь эхний үе шатанд бага, хальсны хурд бага, өндөр даралтын төхөөрөмжид суулгаж, нөлөөллийн хий болон бусад олон асуудал үүсгэдэг тул хөгжил нь маш удаан, зөвхөн металлын химийн урвалыг бараг арилгадаг. диэлектрик, химийн нэгдлүүд, цөөн тооны хэрэглээний материалууд. 1970-аад он хүртэл магнетрон цацах технологи гарч ирснээр шүршигч бүрэх хурдацтай хөгжиж, замын сэргэлтэд орж эхэлсэн. Учир нь магнетрон цацах аргыг электронууд дээрх ортогональ цахилгаан соронзон орны нөлөөгөөр хязгаарлаж, электрон ба хийн молекулуудын мөргөлдөх магадлалыг нэмэгдүүлж, зөвхөн катод руу нэмсэн хүчдэлийг бууруулж зогсохгүй, зорилтот катод дээр эерэг ионуудын цацрах хурдыг сайжруулж, субстратыг цахилгаанаар дахин бөмбөгдөж, температурыг нь бууруулдаг. хурд, бага температур "Их хурд ба бага температур" гэсэн хоёр үндсэн шинж чанар.
1980-аад он хүртэл хэдийгээр арваадхан жил гарч ирсэн ч лабораториосоо ялгарч, үйлдвэржсэн массын үйлдвэрлэлийн талбарт оров. Шинжлэх ухаан, технологийн цаашдын хөгжлийг дагаад сүүлийн жилүүдэд шүршигч бүрэх, ионы цацрагийг сайжруулсан цацралтыг нэвтрүүлэх, соронзон орны модуляцтай хослуулан хүчтэй гүйдлийн ионы эх үүсвэрийн өргөн цацрагийг ашиглах, шинэ цацралтын горимоос бүрдсэн уламжлалт диполь цацалтыг хослуулах; мөн магнетрон цацах зорилтот эх үүсвэрт завсрын давтамжийн хувьсах гүйдлийн тэжээлийн хангамжийг нэвтрүүлэх болно. Энэхүү дунд давтамжийн хувьсах гүйдлийн магнетрон шүрших технологи нь анодын "алга болох" нөлөөг арилгаад зогсохгүй катодын "хордуулах" асуудлыг шийдэж, магнетрон цацралтын тогтвортой байдлыг ихээхэн сайжруулж, нэгдлийн хальсыг үйлдвэржүүлэн үйлдвэрлэх бат бөх суурийг бүрдүүлдэг. Энэ нь магнетрон шүрших тогтвортой байдлыг ихээхэн сайжруулж, нийлмэл нимгэн хальсыг үйлдвэржүүлсэн үйлдвэрлэлд бат бөх суурийг тавьсан. Сүүлийн жилүүдэд шүршигч бүрэх нь вакуум бүрэх технологийн чиглэлээр идэвхтэй хөгжиж буй хальс бэлтгэх технологи болж байна.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 05