Вакуумыг "вакуум шахах" гэж нэрлэдэг бөгөөд энэ нь савны доторх агаарыг зайлуулахын тулд янз бүрийн вакуум насос ашиглахыг хэлдэг бөгөөд ингэснээр орон зайн доторх даралтыг нэг атмосферээс доош буулгадаг. Одоогийн байдлаар вакуум болон түгээмэл хэрэглэгддэг төхөөрөмжүүдийг авахын тулд эргэдэг вакуум насос, Roots насос, газрын тосны диффузын насос, нийлмэл молекул насос, молекул шигшүүр шингээх насос, титан сублимацийн насос, шүрших ионы насос, криоген насос гэх мэт. Эдгээр шахуургын хувьд эхний дөрвөн шахуургыг хий дамжуулах насос (дамжуулах вакуум насос) гэж ангилдаг бөгөөд энэ нь хийн молекулуудыг вакуум насос руу тасралтгүй сорж, нүүлгэн шилжүүлэлтийг хэрэгжүүлэхийн тулд гадаад орчинд гадагшлуулдаг гэсэн үг юм; Сүүлийн дөрвөн шахуургыг хий барих насос (барьж авах вакуум насос) гэж ангилдаг бөгөөд тэдгээр нь шаардлагатай вакуумыг авахын тулд шахуургын камерын дотоод хананд молекулын конденсаци эсвэл химийн бодисоор холбогддог. Хийн шахуурга нь газрын тосыг ажлын орчин болгон ашигладаггүй тул тосгүй вакуум насос гэж нэрлэдэг. Хийг бүрмөсөн арилгадаг дамжуулах насосуудаас ялгаатай нь зарим хураах насосууд нь буцах боломжтой бөгөөд халаалтын явцад цуглуулсан эсвэл конденсацсан хийг системд буцааж хаях боломжийг олгодог.
Дамжуулах вакуум насосыг эзэлхүүний болон импульсийн дамжуулалт гэсэн хоёр үндсэн ангилалд хуваадаг. Эзлэхүүн дамжуулах насос нь ихэвчлэн эргэдэг сэнсэн механик насос, шингэн цагираг насос, поршений насос болон Roots насосыг агуулдаг; импульс дамжуулах вакуум насос нь ихэвчлэн молекулын насос, тийрэлтэт насос, газрын тосны диффузийн насосыг агуулдаг. Баривчлах вакуум насос нь ихэвчлэн бага температурт шингээх болон шүрших ионы насосыг агуулдаг.
Ерөнхийдөө бүрэх үйл явц нь өөр өөр байдаг, вакуум бүрэх камерын вакуум өөр өөр түвшинд хүрэх ёстой бөгөөд вакуум технологид арын вакуум (мөн дотоод вакуум гэж нэрлэдэг) нь түүний түвшинг илэрхийлэх болно. Арын вакуум гэдэг нь вакуум шахуургаар дамжуулан вакуум бүрэх камерын вакуумыг хамгийн өндөр вакуумаар бүрэх үйл явцын хэрэгцээг хангахын тулд вакуум шахах багтаамжаас ихээхэн хамаардаг. Вакуум бүрэх өрөө нь вакуум системээрээ вакуум нь хамгийн өндөр вакуумд хүрч чаддаг хязгаарлагдмал вакуум (эсвэл хязгаарын даралт) гэж нэрлэдэг. Хүснэгт 1-2-т зарим нийтлэг вакуум насосны ажлын даралтын хүрээ болон олж авах боломжтой эцсийн даралтыг жагсаав. Хүснэгтийн сүүдэртэй хэсгүүд нь бусад төхөөрөмжтэй хослуулан ашиглах үед вакуум насос тус бүрээс авах боломжтой даралтыг илэрхийлдэг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 8-р сарын 30-ны хооронд