1. Карактеристики на протокот на електрони на лачна светлина
Густината на протокот на електрони, протокот на јони и неутралните атоми со висока енергија во лачната плазма генерирана од лачно празнење е многу поголема од онаа на сјајното празнење. Постојат повеќе гасни јони и метални јони јонизирани, возбудени атоми со висока енергија и разни активни групи во просторот за обложување, кои играат важна улога во фазите на загревање, чистење и обложување на процесот на обложување. Формата на дејство на протокот на лачни електрони е различна од онаа на јонскиот зрак, не сите од нив се спојуваат во „зрак“, туку најчесто се во дивергентна состојба, па затоа се нарекува проток на лачни електрони. Бидејќи лачните електрони течат кон анодата, протокот на лачни електрони е насочен каде што е поврзана позитивната електрода на напојувањето на лакот, а анодата може да биде обработен дел, помошна анода, сад за готвење итн.
2. Метод за генерирање на лачен проток на електрони
(1) Изворот на гас генерира проток на електрони на лакот: струјата на лакот на празнењето со шуплив катоден лак и празнењето со жешка жица може да достигне околу 200A, а напонот на лакот е 50-70V.
(2) Цврстиот извор генерира проток на електрони со лак: извор на катоден лак, вклучувајќи извор на мал лак, извор на цилиндричен лак, извор на голем лак со правоаголна рамнина итн. Струјата на лак на секое празнење на изворот на катоден лак е 80-200A, а напонот на лак е 18-25V.
Протокот на лачни електрони со висока густина и ниска енергија во два вида плазма со лачно празнење може да генерира интензивна јонизација при судир со атоми на гас и метален филм, добивајќи повеќе јони на гас, метални јони и разни активни атоми и групи со висока енергија, со што се подобрува целокупната активност на јоните на филмскиот слој.
– Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа, апроизводител на машина за вакуумско обложување
Време на објавување: 31 мај 2023 година