Ko te pupuhi he ahuatanga e pa ana nga matūriki hihiko (te nuinga o nga katote pai o te hau) ki te mata o te totoka (kei raro nei e kiia ana ko te mea i whaaia), ka mawhiti atu nga ngota (ngota ngota ranei) i runga i te mata o te mea i whaaia.
I kitea tenei ahuatanga e Grove i te tau 1842 i te hekenga o nga rawa cathode ki te pakitara o te ngongo korehau i te wa o te whakamatautau ki te ako i te waikura cathodic. Ko tenei tikanga mokowhiti i roto i te whakaurunga o nga kiriata angiangi i kitea i te tau 1877, na te whakamahi i tenei tikanga te whakatakoto o nga kiriata angiangi i te timatanga o te reiti sputtering he iti, he puhoi te tere o te kiriata, me whakatu ki roto i te taputapu o te pehanga teitei ka uru atu ki roto i te hau aahua me etahi atu o nga raru, na reira he puhoi te whanaketanga me te tata te whakakore, he mea whakarewa noa i roto i te matū. dielectrics, me te matū pūhui, rauemi i runga i te maha o ngā tono. Tae noa ki te tekau tau atu i 1970, na te putanga o te hangarau o te magnetron sputtering, kua tere te whakawhanake i te paninga sputtering, ka timata ki te uru ki te whakaoranga o te huarahi. Ko te mea tenei na te mea ka taea te aukati i te tikanga o te magnetron sputtering e te orthogonal electromagnetic field on the electrons, te whakanui ake i te tūponotanga o te tukinga o nga irahiko me te hau ngota ngota, ehara i te mea ka whakaiti noa i te ngaohiko ka whakauruhia ki te cathode, me te whakapai ake i te tere o te pupuhi o nga katote pai i runga i te cathode whaainga, ka whakaheke i te tupono o te pupuhi o te hiko, te iti o te pāmahana i runga i te "ruarua teitei, te iti o te pāmahana i runga i te teitei o te pāmahana. nga ahuatanga matua o te "tere tere me te iti o te pāmahana".
Ki te tekau tau atu i 1980, ahakoa he tekau ma rua tau noa iho te ahua, ka puta mai i te taiwhanga taiwhanga, i roto tonu i nga mahi hanga papatipu ahumahi. Ki te whanaketanga atu o te pūtaiao me te hangarau, i roto i nga tau tata nei i roto i te mara o te paninga sputtering me te whakataki o te kurupae katote whakarei sputtering, te whakamahi o te kurupae whanui o te puna katote o nāianei kaha ngā ki modulation mara autō, me te ki te huinga o te sputtering dipole tikanga tito o te aratau sputtering hou; ka waiho ko te whakaurunga o te tuku hiko o naianei tauwhitiwhiti-waenganui ki te puna whainga e pupuhi ana te magnetron. Ko tenei hangarau hiko AC magnetron sputtering reo-waenga, e kiia ana ko te mahanga mahanga, kaore i te whakakore noa i te hua "ngaro" o te anode, engari ka whakaoti ano hoki i te raru "poisoning" o te cathode, e tino pai ake ai te pumau o te pupuhi magnetron, me te whakarato i te turanga pakari mo te hanga ahumahi o nga kiriata kikokore. Na tenei i tino pai ake te pumau o te pupuhi o te magnetron me te whai turanga pakari mo te hanga ahumahi o nga kiriata kikokore. I roto i nga tau tata nei, kua riro te paninga sputtering hei hangarau whakamaarama kiriata ka puta, e kaha ana ki te hangarau whakakikorua.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Tihema-05-2023