1. paninga katote kurupae sputtering
Ko te mata o te rauemi ka pupuhihia ki te kurupae katote-a-waenga, karekau te kaha o nga katote e uru ki roto i te kurupae karaihe o te rauemi, engari ka whakawhiti i te kaha ki nga ngota e whai ana, ka marara atu i te mata o te rauemi, katahi ka hanga he kiriata angiangi ma te tuku ki runga i te mea mahi. Na te pupuhi i puta mai i te kurupae katote, he tiketike rawa te kaha o nga ngota paparanga kiriata katoo, a ka pupuhihia te taonga whaainga ki te kurupae katote i roto i te korehau teitei, he teitei te ma o te paparanga kiriata, ka taea te penapena i nga kiriata kounga teitei, ka pai ake te pumau o te paparanga kiriata kurupae katote, ka taea te whakatutuki i te kaupapa me te whakapai ake i nga taonga o te kiriata. Ko te kaupapa o te kurupae kurupae katote ko te hanga rauemi kiriata kikokore hou.
2. Te kurupae katote tarai
Katote kurupae kurupae ko te reo-pūngao kurupae kurupae katote poma o te mata o te rauemi ki te whakaputa sputtering, pānga etching i runga i te tïpako, ko te pūrere semiconductor, pūrere optoelectronic me ētahi atu wāhi o te hanga o te hangarau matua whakairoiro. Ko te hangarau whakarite mo nga maramara i roto i nga iahiko whakauru semiconductor ko te whakarite i nga miriona o nga transistors i runga i te kirikiri angiangi kirikiri kotahi me te diameter o te Φ12in (Φ304.8mm). Ko ia transistor he mea hanga mai i nga paparanga maha o nga kiriata angiangi me nga mahi rereke, kei roto i te paparanga kaha, te paparanga insulating, te paparanga wehe, me te paparanga kawe. Kei ia paparanga mahi tona ake tauira, no reira i muri i te whakakikoruatanga o ia paparanga o te kiriata mahi, me tarai nga waahanga kore ki te kurupae katote, kia noho tonu nga waahanga kiriata whai hua. I enei ra, kua eke te whanui waea o te maramara ki te 7mm, a he mea tika te tarai i te kurupae katote hei whakarite i taua tauira pai. Ko te weri o te kurupae katote he tikanga tarai maroke me te tino tika o te hangai ki te tikanga maku i whakamahia i te timatanga.
Hangarau raato kurupae katote me te kurupae kurupae katote hohe me nga momo momo e rua. Ko te mea o mua he kurupae katote argon, no te tauhohenga tinana; ko te whakamutunga me te pupuhi katote katote kurupae, te kurupae katote fluorine i tua atu i te kaha nui ki te whakaputa i te mahi o te takahi, ka taea hoki te kurupae katote fluorine te mau ki te SiO2、Si3N4、GaAs、W me etahi atu kiriata angiangi he tauhohenga matū, koinei te tukanga tauhohenga tinana, engari ano hoki ko te tukanga matū o te hangarau etching beam, he tere te tere. He CF nga hau ha'iriiri tauhohenga4、C2F6、CCl4, BCl3, me etahi atu, nga tauhohenga i hangaia mo SiF4、SiCl4、GCl3;, wf6 ka tangohia nga hau pirau. Ko te hangarau hangai kurupae katote te hangarau matua ki te whakaputa hua-hangarau teitei.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Oketopa-24-2023