(3) Radio Frequency Plasma CVD (RFCVD) RF dia azo ampiasaina hamokatra plasma amin'ny fomba roa samy hafa, ny capacitive coupling method and inductive coupling method.RF plasma CVD dia mampiasa matetika ny 13,56 MHz. sputtering, indrindra raha ny plasma misy argon. Capacitively mitambatra plasma dia tsy mety amin'ny fitomboana avo lenta diamondra sarimihetsika satria ny ion baomba avy amin'ny plasma dia mety hitarika ho amin'ny fahavoazana mafy ny diamondra. Sarimihetsika diamondra polycrystalline dia novolavolaina tamin'ny alàlan'ny plasma induced RF ao anatin'ny toe-javatra deposition mitovy amin'ny plasma microwave CVD. Ny sarimihetsika diamondra epitaxial homogeneous koa dia azo tamin'ny alàlan'ny RF-induced plasma-enhanced CVD.
(4) DC Plasma CVD
DC plasma dia fomba iray hafa amin'ny fampahavitrihana loharano entona (amin'ny ankapobeny ny fifangaroan'ny H2, ary ny entona hydrocarbon) ho an'ny fitomboan'ny sarimihetsika diamondra. DC plasma-assisted CVD dia manana fahafahana hampitombo faritra midadasika amin'ny sarimihetsika diamondra, ary ny haben'ny faritra mitombo dia voafetra ihany amin'ny haben'ny electrodes sy ny famatsiana herinaratra DC. mm/h. Ho fanampin'izany, satria ny fomba DC arc isan-karazany dia afaka mametraka sarimihetsika diamondra avo lenta amin'ny substrate tsy diamondra amin'ny tahan'ny fametrahana avo lenta, dia manome fomba azo amidy amin'ny fametrahana sarimihetsika diamondra izy ireo.
(5) Electron cyclotron resonance microwave plasma enhanced chimique deposition deposition (ECR-MPECVD)Ny DC plasma, RF plasma, ary microwave plasma dia nofaritana teo aloha fa samy manasaraka sy manimba ny H2, na hydrocarbons, ho vondrona atôma atomika sy carbon-hydrogène atomika, ka mandray anjara amin'ny fiforonan'ny sarimihetsika diamondra manify. Koa satria electron cyclotron resonance plasma afaka mamokatra avo hakitroky ranon-dra (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD dia mety kokoa ho an'ny fitomboana sy ny fametrahana ny diamondra films.Na izany aza, noho ny ambany entona tsindry (10-4- hatramin'ny 10-2 Torr) ampiasaina amin'ny ECR dingana, izay miteraka ambany deposition tahan'ny diamondra sarimihetsika amin'izao fotoana izao, ny fomba dia ny deposition ny diamondra sarimihetsika amin'izao fotoana izao ihany no fomba.
-Ity lahatsoratra ity dia navoakan'ny mpanamboatra milina fanasan-damba Guangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jun-19-2024