Vakuuma iegūšana ir pazīstama arī kā "vakuuma sūknēšana", kas attiecas uz dažādu vakuuma sūkņu izmantošanu, lai izsūknētu gaisu no tvertnes, lai spiediens telpā nokristu zem vienas atmosfēras. Pašlaik vakuuma iegūšanai parasti tiek izmantotas tādas ierīces kā rotācijas lāpstiņu mehāniskie vakuuma sūkņi, Rūtsa sūkņi, eļļas difūzijas sūkņi, kompozītmateriālu molekulārie sūkņi, molekulāro sietu adsorbcijas sūkņi, titāna sublimācijas sūkņi, izsmidzināšanas jonu sūkņi un kriogēnie sūkņi utt. Šajos sūkņos pirmie četri sūkņi tiek klasificēti kā gāzes pārneses sūkņi (pārneses vakuuma sūkņi), kas nozīmē, ka gāzes molekulas nepārtraukti iesūc vakuumsūknī un izvada ārējā vidē, lai īstenotu evakuāciju; pēdējie četri sūkņi tiek klasificēti kā gāzes uztveršanas sūkņi (uztveršanas vakuuma sūkņi), kas ir molekulāri kondensēti vai ķīmiski saistīti ar sūknēšanas kameras iekšējo sienu, lai iegūtu nepieciešamo vakuumu. Gāzes uztveršanas sūkņus sauc arī par bezeļļas vakuuma sūkņiem, jo tie neizmanto eļļu kā darba vidi. Atšķirībā no pārneses sūkņiem, kas pastāvīgi noņem gāzi, daži uztveršanas sūkņi ir atgriezeniski, ļaujot savākto vai kondensēto gāzi izvadīt atpakaļ sistēmā sildīšanas procesa laikā.
Pārneses vakuumsūkņi tiek iedalīti divās galvenajās kategorijās: tilpuma un impulsa pārneses sūkņi. Tilpuma pārneses sūkņi parasti ietver rotācijas lāpstiņu mehāniskos sūkņus, šķidruma gredzena sūkņus, virzuļsūkņus un Rūtsa sūkņus; impulsa pārneses vakuumsūkņi parasti ietver molekulāros sūkņus, strūklas sūkņus, eļļas difūzijas sūkņus. Uztveršanas vakuumsūkņi parasti ietver zemas temperatūras adsorbcijas un izsmidzināšanas jonu sūkņus.
Kopumā pārklāšanas process ir atšķirīgs, vakuuma pārklāšanas kamerā jāsasniedz dažādi vakuuma līmeņi, un vakuuma tehnoloģijā vairāk tiek izmantots fona vakuums (pazīstams arī kā iekšējais vakuums), lai izteiktu tā līmeni. Fona vakuums attiecas uz vakuumu, ko vakuumsūknis rada vakuuma pārklāšanas kamerā, lai apmierinātu pārklāšanas procesa vajadzības ar visaugstāko vakuumu, un šī vakuuma lielums galvenokārt ir atkarīgs no vakuuma sūknēšanas jaudas. Vakuuma pārklāšanas kameras vakuuma sistēma var sasniegt visaugstāko vakuumu, ko sauc par robežvakuumu (vai robežspiedienu). 1.-2. tabulā ir norādīts dažu izplatītu vakuumsūkņu darba spiediena diapazons un maksimālais spiediens, ko var iegūt. Tabulas iekrāsotās daļas norāda spiedienus, ko var iegūt ar katru vakuumsūkni, izmantojot to kopā ar citām iekārtām.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 30. augusts
