Dulkinimasis yra reiškinys, kai energingos dalelės (dažniausiai teigiami dujų jonai) atsitrenkia į kietosios medžiagos (toliau vadinamos taikinio medžiaga) paviršių, todėl atomai (arba molekulės) ant taikinio medžiagos paviršiaus iš jo ištrūksta.
Šį reiškinį 1842 m. atrado Grove'as, kai katodo medžiaga buvo perkelta į vakuuminio vamzdžio sienelę atliekant katodinės korozijos tyrimą. Šis dulkinimo metodas plonų plėvelių nusodinimui substrate buvo atrastas 1877 m. Dėl šio metodo taikymo ankstyvosiose plonų plėvelių nusodinimo stadijose dulkinimo greitis yra mažas, plėvelės greitis yra mažas, todėl reikia įrengti aukšto slėgio įrenginį ir pereiti į afektines dujas. Todėl vystymasis yra labai lėtas ir beveik išnykęs. Chemiškai reaguojančių tauriųjų metalų, ugniai atsparių metalų, dielektrikų ir cheminių junginių medžiagos naudojamos tik nedaugeliui pritaikymų. Iki aštuntojo dešimtmečio, atsiradus magnetroninio dulkinimo technologijai, dulkinimo danga sparčiai vystėsi ir pradėjo atgimti. Taip yra todėl, kad magnetroninio dulkinimo metodą gali apriboti elektronams veikiantis ortogonalus elektromagnetinis laukas, padidinant elektronų ir dujų molekulių susidūrimo tikimybę, ne tik sumažinant prie katodo pridedamą įtampą, bet ir pagerinant teigiamų jonų dulkinimo greitį ant taikinio katodo, sumažinant elektronų bombardavimo ant substrato tikimybę, taip sumažinant jo temperatūrą. Dėl „didelio greičio ir žemos temperatūros“ dvi pagrindinės savybės yra „didelis greitis ir žema temperatūra“.
Nors jis pasirodė tik prieš keliolika metų, iki devintojo dešimtmečio jis išsiskyrė iš laboratorinių tyrimų ir iš tikrųjų pateko į pramoninės masinės gamybos sritį. Toliau vystantis mokslui ir technologijoms, pastaraisiais metais purškimo dangų srityje atsirado jonų pluoštu sustiprintas purškimas, plataus stiprios srovės jonų šaltinio pluoštas buvo derinamas su magnetinio lauko moduliacija, o įprastas dipolinis purškimas buvo sudarytas iš naujo purškimo režimo, taip pat bus įdiegta vidutinio dažnio kintamosios srovės maitinimo sistema magnetroninio purškimo taikinio šaltiniui. Ši vidutinio dažnio kintamosios srovės magnetroninio purškimo technologija, vadinama dviejų taikinių purškimu, ne tik pašalina anodo „dingimo“ efektą, bet ir išsprendžia katodo „apsinuodijimo“ problemą, o tai labai pagerina magnetroninio purškimo stabilumą ir suteikia tvirtą pagrindą pramoninei sudėtinių plonų plėvelių gamybai. Tai labai pagerino magnetroninio purškimo stabilumą ir suteikė tvirtą pagrindą pramoninei sudėtinių plonų plėvelių gamybai. Pastaraisiais metais purškimo danga tapo karšta besiformuojančia plėvelių paruošimo technologija, aktyviai naudojama vakuuminių dangų technologijų srityje.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 5 d.