Vakuumo gavimas taip pat žinomas kaip „vakuuminis siurbimas“, o tai reiškia, kad naudojami įvairūs vakuuminiai siurbliai orui iš talpyklos pašalinti, kad slėgis erdvėje sumažėtų žemiau vienos atmosferos. Šiuo metu vakuumui gauti dažniausiai naudojami tokie įtaisai kaip rotaciniai mechaniniai vakuuminiai siurbliai, Rutso siurbliai, alyvos difuzijos siurbliai, sudėtiniai molekuliniai siurbliai, molekulinių sietų adsorbcijos siurbliai, titano sublimacijos siurbliai, jonų dulkinimo siurbliai ir kriogeniniai siurbliai ir kt. Šiuose siurbliuose pirmieji keturi siurbliai priskiriami dujų perdavimo siurbliams (perdavimo vakuuminiams siurbliams), o tai reiškia, kad dujų molekulės nuolat įsiurbiamos į vakuuminį siurblį ir išleidžiamos į išorinę aplinką, kad būtų galima išsiurbti; paskutiniai keturi siurbliai priskiriami dujų surinkimo siurbliams (surinkimo vakuuminiams siurbliams), kurie molekuliniu būdu sutankinami arba chemiškai surišami ant siurbimo kameros vidinės sienelės, kad būtų pasiektas reikiamas vakuumas. Dujų surinkimo siurbliai taip pat vadinami bealiejiais vakuuminiais siurbliais, nes jie nenaudoja alyvos kaip darbinės terpės. Skirtingai nuo pernešimo siurblių, kurie visam laikui pašalina dujas, kai kurie surinkimo siurbliai yra grįžtamieji, todėl surinktos arba sutankintos dujos kaitinimo proceso metu gali būti išleistos atgal į sistemą.
Perdavimo vakuuminiai siurbliai skirstomi į dvi pagrindines kategorijas: tūrinius ir impulso perdavimą. Tūriniai perdavimo siurbliai paprastai apima rotacinius mechaninius siurblius, skysčio žiedinius siurblius, stūmoklinius siurblius ir Rutso siurblius; impulso perdavimą atliekantys vakuuminiai siurbliai paprastai apima molekulinius siurblius, reaktyvinius siurblius, alyvos difuzijos siurblius. Surinkimo vakuuminiai siurbliai paprastai apima žemos temperatūros adsorbcijos ir dulkinimo jonų siurblius.
Apskritai, dengimo procesas yra skirtingas, vakuuminės dengimo kameros vakuumo lygiai turi būti skirtingi, o vakuuminėje technologijoje labiau būdingas foninis vakuumas (dar vadinamas vidiniu vakuumu), išreiškiantis jo lygį. Foninis vakuumas reiškia vakuuminio dengimo kameros vakuumą per vakuuminį siurblį, kad būtų patenkinti dengimo proceso metu reikalingo didžiausio vakuumo poreikiai, o šio vakuumo dydis daugiausia priklauso nuo vakuuminio siurbimo galios. Vakuuminė dengimo kamera, naudodama savo vakuuminę sistemą, gali pasiekti didžiausią vakuumą, ir tai vadinama ribiniu vakuumu (arba ribiniu slėgiu). 1-2 lentelėje pateikiamas kai kurių įprastų vakuuminių siurblių darbinio slėgio diapazonas ir didžiausias slėgis, kurį galima pasiekti. Užtamsintos lentelės dalys rodo slėgį, kurį gali pasiekti kiekvienas vakuuminis siurblys, kai naudojamas kartu su kita įranga.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugpjūčio 30 d.