(3) Radio Frequency Plasma CVD (RFCVD)RF ສາມາດນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງ plasma ໂດຍສອງວິທີທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ວິທີການ coupling capacitive ແລະ inductive coupling method.RF plasma CVD ໃຊ້ຄວາມຖີ່ຂອງ 13.56 MHz. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງ RF plasma ແມ່ນການແຜ່ກະຈາຍໃນໄລຍະຂອບເຂດຂອງ microwaveH ຂະຫນາດໃຫຍ່ກວ່າຫຼາຍ. plasma ປະສົມປະສານ capacitively ແມ່ນວ່າຄວາມຖີ່ຂອງ plasma ແມ່ນບໍ່ເຫມາະສົມສໍາລັບ sputtering, ໂດຍສະເພາະຖ້າຫາກວ່າ plasma ມີ argon. plasma ປະສົມປະສານ capacitively ບໍ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຮູບເງົາເພັດຄຸນນະພາບສູງ, ເນື່ອງຈາກວ່າ ion bombardment ຈາກ plasma ສາມາດນໍາໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍຮ້າຍແຮງຂອງເພັດໄດ້. ຮູບເງົາເພັດ polycrystalline ໄດ້ຮັບການຂະຫຍາຍຕົວໂດຍໃຊ້ RF induced plasma ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂການຝາກທີ່ຄ້າຍຄືກັນກັບ microwave plasma CVD.Homogeneous epitaxial diamond films ຍັງໄດ້ຮັບໂດຍໃຊ້ RF-induced plasma-enhanced CVD.
(4) DC Plasma CVD
DC plasma ແມ່ນວິທີການກະຕຸ້ນແຫຼ່ງອາຍແກັສອື່ນ (ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວປະສົມຂອງ H2, ແລະອາຍແກັສ hydrocarbon) ສໍາລັບການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຮູບເງົາເພັດ. DC plasma-assisted CVD ມີຄວາມສາມາດທີ່ຈະຂະຫຍາຍພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງຮູບເງົາເພັດ, ແລະຂະຫນາດຂອງພື້ນທີ່ການຂະຫຍາຍຕົວແມ່ນຖືກຈໍາກັດພຽງແຕ່ຂະຫນາດຂອງ electrodes ແລະການສະຫນອງພະລັງງານ DC. ປະໂຫຍດອີກຢ່າງຫນຶ່ງຂອງ DC plasma ການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງ CVD ເພັດເປັນແບບປົກກະຕິ. ຮູບເງົາທີ່ໄດ້ຮັບໂດຍລະບົບນີ້ແມ່ນຝາກໄວ້ໃນອັດຕາ 80 ມມ/ຊມ. ນອກຈາກນັ້ນ, ນັບຕັ້ງແຕ່ວິທີການ arc DC ຕ່າງໆສາມາດຝາກຮູບເງົາເພັດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໃສ່ substrates ທີ່ບໍ່ແມ່ນເພັດໃນອັດຕາເງິນຝາກສູງ, ພວກເຂົາເຈົ້າສະຫນອງວິທີການຕະຫຼາດສໍາລັບການຝາກຂອງຮູບເງົາເພັດ.
(5) Electron cyclotron resonance microwave plasma ປັບປຸງການປ່ອຍອາຍຂອງສານເຄມີ (ECR-MPECVD) DC plasma, RF plasma, ແລະ microwave plasma ທີ່ໄດ້ອະທິບາຍໄວ້ກ່ອນໜ້ານີ້ທັງໝົດ dissociate and decompose H2, or hydrocarbons, into a atomic hydrogen and carbon-hydrogen atom group , ດັ່ງນັ້ນການປະກອບເປັນຮູບເພັດຂອງເພັດ. ເນື່ອງຈາກ plasma ຂອງ electron cyclotron resonance ສາມາດຜະລິດ plasma ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວແລະເງິນຝາກຂອງເພັດ films. ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ເນື່ອງຈາກຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສຕ່ໍາ (10-4- ຫາ 10-2 Torr) ທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ ECR, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການຝັງຕົວຂອງເພັດແມ່ນຫນ້ອຍ, ອັດຕາເງິນຝາກຂອງເພັດໃນປັດຈຸບັນແມ່ນເຫມາະສົມ. ຫ້ອງທົດລອງ.
– ບົດຄວາມນີ້ຖືກປ່ອຍອອກມາເມື່ອໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດ Guangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ມິຖຸນາ-19-2024