Vakuumgewinnung ass och bekannt als "Vakuumpompelen", wat sech op d'Benotzung vu verschiddene Vakuumpompelen bezitt, fir d'Loft am Behälter ze entfernen, sou datt den Drock am Raum op ënner eng Atmosphär fällt. Am Moment, fir de Vakuum ze kréien, ginn üblech Apparater wéi mechanesch Rotatiounsschienen-Vakuumpompelen, Rootspompelen, Uelegdiffusiounspompelen, Kompositmolekularpompelen, Molekularsieb-Adsorptiounspompelen, Titan-Sublimatiounspompelen, Sputterionenpompelen a Kryogenpompelen asw. Bei dëse Pompelen ginn déi éischt véier Pompelen als Gastransferpompelen (Transfervakuumpompelen) kategoriséiert, dat heescht, datt d'Gasmolekülle kontinuéierlech an d'Vakuumpompel agesoge ginn an an d'äusser Ëmwelt ofgeleet ginn, fir d'Evakuéierung ze realiséieren; déi lescht véier Pompelen ginn als Gaserfassungspompelen (Capture Vacuum Pompelen) kategoriséiert, déi molekular kondenséiert oder chemesch un der bannenzeger Mauer vun der Pompelkammer gebonne sinn, fir dat gewënschte Vakuum ze kréien. Gaserfassungspompelen ginn och uelegfräi Vakuumpompelen genannt, well se kee Ueleg als Aarbechtsmedium benotzen. Am Géigesaz zu Transferpompelen, déi de Gas permanent ewechhuelen, sinn e puer Erfassungspompelen reversibel, sou datt dat gesammelt oder kondenséiert Gas während dem Heizprozess zréck an de System ofgeleet ka ginn.
Transfervakuumpompele ginn an zwou Haaptkategorien agedeelt: volumetresch an Impulstransferpompele. Volumetresch Transferpompele enthalen normalerweis mechanesch Rotatiounslamellenpompele, Flëssegkeetsringpompele, Kolbepompele a Rootspompele; Impulstransfer-Vakuumpompele enthalen normalerweis Molekularpompele, Jetpompele an Uelegdiffusiounspompele. Erfaassungsvakuumpompele enthalen normalerweis Niddregtemperaturadsorptiouns- a Sputterionenpompele.
Am Allgemengen ass de Beschichtungsprozess ënnerschiddlech, d'Vakuumniveauen an der Vakuumbeschichtungskummer sollen ënnerschiddlech Niveauen erreechen, an an der Vakuumtechnologie gëtt méi um Hannergrondvakuum (och bekannt als intrinsescht Vakuum) säin Niveau ausdréckt. Den Hannergrondvakuum bezitt sech op de Vakuum vun der Vakuumbeschichtungskummer duerch d'Vakuumpompel, fir den Ufuerderunge vum Beschichtungsprozess vum héchste Vakuum ze decken, an d'Gréisst vun dësem Vakuum hänkt haaptsächlech vun der Vakuumpompelkapazitéit of. De Vakuum, deen duerch säi Vakuumsystem dat héchst Vakuum erreeche kann, gëtt als Limitvakuum (oder Limitdrock) bezeechent. Tabelle 1-2 weist den Aarbechtsdrockberäich vun e puer übleche Vakuumpompelen an den ultimativen Drock op, deen erreecht ka ginn. Déi schatteiert Deeler vun der Tabelle representéieren den Drock, deen duerch all Vakuumpompel erreecht ka ginn, wa se a Kombinatioun mat aneren Ausrüstung benotzt gëtt.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 30. August 2024