Чачыратуу – энергетикалык бөлүкчөлөр (көбүнчө газдардын оң иондору) катуу нерсенин (төмөндө максаттуу материал деп аталат) бетине тийип, максаттуу материалдын бетиндеги атомдордун (же молекулалардын) андан качып чыгышына алып келген кубулуш.
Бул көрүнүш Гроув тарабынан 1842-жылы катоддук коррозияны изилдөө үчүн эксперимент учурунда катод материалы вакуумдук түтүктүн дубалына көчүрүлгөндө ачылган. Жука пленкаларды субстрат коюуда бул чачыратуу ыкмасы 1877-жылы ачылган, бул ыкманы колдонуунун аркасында жука пленкалардын чачыратуу ылдамдыгы аз, пленканын ылдамдыгы жай, жогорку басымдын түзүлүшүндө орнотулушу керек жана аффективдүү газга өтүшү керек жана башка бир катар көйгөйлөр, ошондуктан өнүгүүсү өтө жай жүрүп, металлдын химиялык реактивдүүлүгүнө жакын, металлдын реактивдүүлүгү дээрлик жок болот. диэлектриктер, жана химиялык кошулмалар, аз сандагы колдонуу боюнча материалдар. 1970-жылдарга чейин, магнетрондук чачуу технологиясы пайда болгонуна байланыштуу, чачыратуу каптоо тездик менен өнүгүп, жолдун жандануусуна кире баштады. Себеби магнетрондук чачыратуу ыкмасы электрондордогу ортогоналдык электромагниттик талаа менен чектелиши мүмкүн, электрондор менен газ молекулаларынын кагылышуу ыктымалдыгын жогорулатат, катодго кошулган чыңалууну азайтып гана койбостон, максаттуу катодго оң иондордун чачыратуу ылдамдыгын жакшыртат, ал жердеги субстраттарды анын температурасы менен бомбалоонун ыктымалдыгын азайтат. ылдамдык, төмөн температура "жогорку ылдамдык жана төмөнкү температуранын" эки негизги мүнөздөмөсү.
1980-жылдарга чейин, ал он эки жыл гана пайда болгонуна карабастан, ал лабораториядан, чындап эле индустриялаштырылган массалык өндүрүш тармагында өзгөчөлөнүп турат. Илимдин жана техниканын андан ары өнүгүшү менен, акыркы жылдарда чачыранды каптоо тармагында жана ион нурунун күчөтүлгөн чачырандылыгын киргизүү, магнит талаасынын модуляциясы менен айкалышкан күчтүү токтун ион булагынын кеңири нурун колдонуу жана жаңы чачыратуу режиминен турган кадимки дипольдук чачыранды айкалыштыруу менен; жана магнетронду чачыраткыч максаттуу булакка орто жыштыктагы өзгөрмө ток менен жабдууну киргизүү болот. Бул орто жыштыктагы AC магнетронду чачуу технологиясы, эгиз максаттуу чачыратуу деп аталып, аноддун "жоголуу" эффектин гана жок кылбастан, катоддун "уулануу" маселесин чечет, бул магнетрондук чачыратуулардын туруктуулугун бир топ жакшыртат жана кошулмаларды өнөр жайлуу өндүрүү үчүн бекем негиз түзөт. Бул магнетронду чачуунун туруктуулугун бир топ жакшыртты жана татаал жука пленкаларды өнөр жай өндүрүшү үчүн бекем негиз түздү. Акыркы жылдары, чачыратуучу каптоо вакуумдук каптоо технология тармагында жигердүү, ысык өнүгүп келе жаткан кино даярдоо технологиясы болуп калды.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 05-декабрь 2023-жыл