Вакуумду алуу "вакуумдук насос" деп да аталат, бул идиштин ичиндеги абаны чыгаруу үчүн ар кандай вакуумдук насосторду колдонууну билдирет, мейкиндиктин ичиндеги басым бир атмосферадан төмөн түшүп калат. Азыркы учурда, вакуумду алуу үчүн жана кеңири колдонулган түзүлүштөрдү, анын ичинде айлануучу механикалык вакуумдук насосторду, тамыр насосторун, мунай диффузиялык насосторду, композиттик молекулалык насосторду, молекулалык электен адсорбциялоо насосторун, титанды сублимациялоо насосторун, чачыраткыч иондук насосторду жана криогендик насосторду жана башкалар. Бул насостордо биринчи төрт насос газ өткөрүүчү насостор (трансфер вакуумдук насостор) катары категорияга бөлүнөт, бул газ молекулалары вакуумдук насоско тынымсыз сорулуп, эвакуацияны ишке ашыруу үчүн тышкы чөйрөгө чыгарылат дегенди билдирет; акыркы төрт насос талап кылынган вакуумду алуу үчүн насостук камеранын ички дубалында молекулярдык конденсацияланган же химиялык жактан байланышкан газды кармоочу насостор (кармап алуу вакуумдук насостору) катары категорияга кирет. Газды кармоочу насостор мунайсыз вакуумдук насостор деп да аталат, анткени алар мунай затты жумушчу чөйрө катары колдонушпайт. Газды биротоло алып салуучу өткөрүп берүүчү насостордон айырмаланып, кээ бир кармоо насостору кайра жылытуу процессинде чогулган же конденсацияланган газды кайра системага чыгарууга мүмкүндүк берет.
Трансфер вакуумдук насостор эки негизги категорияга бөлүнөт: көлөмдүк жана импульстук берүү. Көлөмдүү берүү насостору, адатта, айлануучу канаттуу механикалык насосторду, суюк шакектүү насосторду, поршендик насосторду жана Roots насосторун камтыйт; импульс берүү вакуумдук насостору, адатта, молекулярдык насосторду, реактивдүү насосторду, мунай диффузиялык насосторду камтыйт. Басып алуу вакуумдук насосторуна, адатта, төмөнкү температурадагы адсорбция жана чачыраткыч иондук насостор кирет.
Жалпысынан алганда, каптоо жараяны ар түрдүү, вакуумдук каптоо камерасынын вакууму ар кандай деңгээлге жетиши керек, ал эми вакуумдук технологияда, анын деңгээлин билдирүү үчүн фон вакуумга (ошондой эле ички вакуум катары белгилүү). Фондук вакуум эң жогорку вакуумдун каптоо процессинин муктаждыктарын канааттандыруу үчүн вакуумдук насос аркылуу вакуумдук каптоо камерасынын вакуумуна жана бул вакуумдун көлөмүнө, негизинен, вакуумдук насостун кубаттуулугуна жараша болот. Вакуумдук каптоо бөлмөсү өзүнүн вакуум системасы аркылуу вакуум эң жогорку вакуумга жете алат, чектүү вакуум (же чектүү басым) деп аталат. 1-2-таблицада кээ бир жалпы вакуумдук насостордун жумушчу басымынын диапазону жана алынышы мүмкүн болгон акыркы басым келтирилген. Таблицадагы көлөкөлүү бөлүктөрү башка жабдуулар менен айкалышканда ар бир вакуум насосу ала турган басымдарды билдирет.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 30-август-2024