Depokirina buxara kîmyewî ya bi germî hatiye ajîtandin

Bi gelemperî reaksiyonên CVD xwe dispêrin germahiyên bilind, ji ber vê yekê jê re dibêjin depoya buxara kîmyewî ya bi germî hatiye teşwîqkirin (TCVD). Bi gelemperî pêşgirên neorganîk bikar tîne û di reaktorên dîwar-germ û dîwar-sar de tê kirin. Rêbazên wê yên germkirî germkirina bi frekansa radyoyê (RF), germkirina bi tîrêjên înfrared, germkirina berxwedanê, û hwd.

Depokirina buhara kîmyewî ya dîwarê germ
Bi rastî, reaktora danîna buxara kîmyewî ya dîwar-germ firinek termostatîk e, ku bi gelemperî bi hêmanên berxwedêr tê germ kirin, ji bo hilberîna navber. Nexşeya tesîseke hilberîna danîna buxara kîmyewî ya dîwar-germ ji bo pêçandina amûrên çîpê wekî jêrîn tê nîşandan. Ev danîna buxara kîmyewî ya dîwar-germ dikare TiN, TiC, TiCN û fîlmên din ên tenik pêç bike. Reaktor dikare bi têra xwe mezin were sêwirandin da ku hejmareke mezin ji pêkhateyan bigire, û şert û merc dikarin ji bo danînê pir rast werin kontrol kirin. Wêne 1 amûrek qata epitaksiyal ji bo dopkirina silîkonê ya hilberîna cîhaza nîvconductor nîşan dide. Bingeha di firinê de bi rêgezek vertîkal tê danîn da ku qirêjiya rûyê danînê ji hêla perçeyan ve kêm bike, û barkirina hilberînê pir zêde bike. Reaktorên dîwar-germ ji bo hilberîna nîvconductor bi gelemperî di zextên nizm de têne xebitandin.