(3) CVD ya Plazmaya Frekansa Radyoyê (RFCVD) RF dikare bi du rêbazên cûda, rêbaza girêdana kapasîteyî û rêbaza girêdana înduksîyonî, ji bo çêkirina plazmayê were bikar anîn. Plazmaya RF CVD frekanseke 13.56 MHz bikar tîne. Avantaja plazmaya RF ew e ku ew li ser qadeke pir mezintir ji plazmaya mîkropêlê belav dibe. Lêbelê, sînorkirina plazmaya bi kapasîteyî ve girêdayî ya RF ew e ku frekansa plazmayê ji bo sputterkirinê ne çêtirîn e, nemaze heke plazma argon hebe. Plazmaya bi kapasîteyî ve girêdayî ji bo mezinbûna fîlmên elmasê yên bi kalîte bilind ne guncaw e ji ber ku bombebarana îyonê ji plazmayê dikare bibe sedema zirara giran a elmasê. Fîlmên elmasê yên polîkrîstalîn bi karanîna plazmaya bi RF-ê ve hatî çêkirin di bin şert û mercên danîna mîna CVD ya plazmaya mîkropêlê de hatine mezin kirin. Fîlmên elmasê yên epîtaksîyal ên homojen jî bi karanîna CVD ya bi plazmaya bi RF-ê ve hatî zêdekirin hatine bidestxistin.
(4) CVD-ya Plazmaya DC
Plazmaya DC rêbazek din e ji bo çalakkirina çavkaniyek gazê (bi gelemperî tevlîheviyek ji H2 û gaza hîdrokarbonê) ji bo mezinbûna fîlma elmasê. CVD-ya bi alîkariya plazmaya DC xwedî şiyana mezinbûna deverên mezin ên fîlmên elmasê ye, û mezinahiya devera mezinbûnê tenê bi mezinahiya elektrodan û dabînkirina hêza DC ve sînorkirî ye. Sûdek din a CVD-ya bi alîkariya plazmaya DC avakirina derzîkirina DC ye, û fîlmên elmasê yên tîpîk ên ku ji hêla vê pergalê ve têne bidestxistin bi rêjeya 80 mm/h têne danîn. Wekî din, ji ber ku rêbazên kevana DC yên cûrbecûr dikarin fîlmên elmasê yên bi kalîte bilind li ser substratên ne-elmas bi rêjeyên danîna bilind danîn, ew rêbazek bazarkirî ji bo danîna fîlmên elmasê peyda dikin.
(5) Depozîtasyona buxara kîmyewî ya bi plazmaya mîkropêlê ya rezonansa elektronî (ECR-MPECVD) Plazmaya DC, plazmaya RF, û plazmaya mîkropêlê ya ku berê hatiye vegotin hemî H2, an hîdrokarbonan, vediqetînin û di nav komên atomî yên hîdrojena atomî û karbon-hîdrojenê de hildiweşînin, bi vî rengî beşdarî çêbûna fîlmên zirav ên elmasê dibin. Ji ber ku plazmaya rezonansa elektronî ya sîklotron dikare plazmaya dendika bilind (>1x1011cm-3) hilberîne, ECR-MPECVD ji bo mezinbûn û depozîtasyona fîlmên elmasê guncawtir e. Lêbelê, ji ber zexta gazê ya nizm (10-4- heta 10-2 Torr) ku di pêvajoya ECR de tê bikar anîn, ku dibe sedema rêjeyek depozîtasyona nizm a fîlmên elmasê, rêbaz niha tenê ji bo depozîtasyona fîlmên elmasê di laboratûarê de guncaw e.
-Ev gotar ji hêla hilberînerê makîneya boyaxkirina valahiyê Guangdong Zhenhua ve hatiye weşandin.
Dema şandinê: 19ê Hezîrana 2024an