진공 획득은 "진공 펌핑"이라고도 하며, 다양한 진공 펌프를 사용하여 용기 내부의 공기를 제거하여 공간 내부의 압력을 1기압 이하로 낮추는 것을 의미합니다. 현재 진공을 획득하기 위해 회전 날개 기계식 진공 펌프, 루츠 펌프, 오일 확산 펌프, 복합 분자 펌프, 분자체 흡착 펌프, 티타늄 승화 펌프, 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프 등 일반적으로 사용되는 장치가 있습니다. 이러한 펌프 중 처음 네 가지 펌프는 가스 전달 펌프(전달 진공 펌프)로 분류됩니다. 이는 가스 분자가 진공 펌프로 지속적으로 흡입되어 외부 환경으로 배출되어 진공을 실현한다는 것을 의미합니다. 마지막 네 가지 펌프는 가스 포집 펌프(포집 진공 펌프)로 분류됩니다. 이는 펌핑 챔버 내벽에 분자적으로 응축되거나 화학적으로 결합되어 필요한 진공을 얻습니다. 가스 포집 펌프는 작동 매체로 오일을 사용하지 않기 때문에 무오일 진공 펌프라고도 합니다. 가스를 영구적으로 제거하는 이송 펌프와 달리, 일부 포집 펌프는 가역적이어서 포집되거나 응축된 가스를 가열 과정 중에 시스템으로 다시 배출할 수 있습니다.
이송 진공 펌프는 크게 체적 이송 펌프와 운동량 이송 펌프의 두 가지 범주로 나뉩니다. 체적 이송 펌프에는 일반적으로 회전 날개 기계식 펌프, 액체 링 펌프, 왕복 펌프, 루츠 펌프가 포함됩니다. 운동량 이송 진공 펌프에는 일반적으로 분자 펌프, 제트 펌프, 오일 확산 펌프가 포함됩니다. 포획 진공 펌프에는 일반적으로 저온 흡착 펌프와 스퍼터링 이온 펌프가 포함됩니다.
일반적으로 코팅 공정은 다르며, 진공 코팅 챔버의 진공도는 다른 수준에 도달해야 하며, 진공 기술에서는 그 수준을 표현하기 위해 배경 진공(본질 진공이라고도 함)에 더 가깝습니다. 배경 진공은 진공 펌프를 통해 코팅 공정의 최고 진공 요구를 충족하는 진공 코팅 챔버의 진공을 말하며, 이 진공의 크기는 주로 진공 펌핑 용량에 따라 달라집니다. 진공 코팅실은 진공 시스템을 통해 최고 진공도에 도달할 수 있으며, 이를 한계 진공(또는 한계 압력)이라고 합니다. 표 1-2는 일반적인 진공 펌프의 작동 압력 범위와 얻을 수 있는 최대 압력을 나열합니다. 표의 음영 처리된 부분은 다른 장비와 함께 사용할 때 각 진공 펌프가 얻을 수 있는 압력을 나타냅니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 8월 30일