ನಿರ್ವಾತ ಪಡೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು "ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪಿಂಗ್" ಎಂದೂ ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಪಾತ್ರೆಯೊಳಗಿನ ಗಾಳಿಯನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ವಿಭಿನ್ನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಜಾಗದೊಳಗಿನ ಒತ್ತಡವು ಒಂದು ವಾತಾವರಣಕ್ಕಿಂತ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಇಳಿಯುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಮತ್ತು ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ಆಯಿಲ್ ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ಕಾಂಪೋಸಿಟ್ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ಗಳು, ಆಣ್ವಿಕ ಜರಡಿ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವ ಪಂಪ್ಗಳು, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಸಬ್ಲೈಮೇಷನ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್ಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ರಯೋಜೆನಿಕ್ ಪಂಪ್ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸಾಧನಗಳು. ಈ ಪಂಪ್ಗಳಲ್ಲಿ, ಮೊದಲ ನಾಲ್ಕು ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಅನಿಲ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪಂಪ್ಗಳು (ವರ್ಗಾವಣೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳು) ಎಂದು ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ, ಅಂದರೆ ಅನಿಲ ಅಣುಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗೆ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಲು ಬಾಹ್ಯ ಪರಿಸರಕ್ಕೆ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ; ಕೊನೆಯ ನಾಲ್ಕು ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಅನಿಲ ಸೆರೆಹಿಡಿಯುವ ಪಂಪ್ಗಳು (ಕ್ಯಾಪ್ಚರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಪಂಪ್ಗಳು) ಎಂದು ವರ್ಗೀಕರಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇವು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಪಂಪಿಂಗ್ ಚೇಂಬರ್ನ ಒಳ ಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಆಣ್ವಿಕವಾಗಿ ಸಾಂದ್ರೀಕರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಅಥವಾ ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ಬಂಧಿತವಾಗಿವೆ. ಅನಿಲ-ಕ್ಯಾಪ್ಚರ್ ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ತೈಲ-ಮುಕ್ತ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳು ಎಂದೂ ಕರೆಯುತ್ತಾರೆ ಏಕೆಂದರೆ ಅವು ತೈಲವನ್ನು ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಮಾಧ್ಯಮವಾಗಿ ಬಳಸುವುದಿಲ್ಲ. ಅನಿಲವನ್ನು ಶಾಶ್ವತವಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪಂಪ್ಗಳಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಕೆಲವು ಕ್ಯಾಪ್ಚರ್ ಪಂಪ್ಗಳು ಹಿಂತಿರುಗಿಸಬಲ್ಲವು, ಇದು ತಾಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಿದ ಅಥವಾ ಸಾಂದ್ರೀಕರಿಸಿದ ಅನಿಲವನ್ನು ಮತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ.
ವರ್ಗಾವಣೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಎರಡು ಮುಖ್ಯ ವರ್ಗಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ: ವಾಲ್ಯೂಮೆಟ್ರಿಕ್ ಮತ್ತು ಆವೇಗ ವರ್ಗಾವಣೆ. ವಾಲ್ಯೂಮೆಟ್ರಿಕ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ಪಂಪ್ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ರೋಟರಿ ವೇನ್ ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ಲಿಕ್ವಿಡ್ ರಿಂಗ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ರೆಸಿಪ್ರೊಕೇಟಿಂಗ್ ಪಂಪ್ಗಳು ಮತ್ತು ರೂಟ್ಸ್ ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ; ಆವೇಗ ವರ್ಗಾವಣೆ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆಣ್ವಿಕ ಪಂಪ್ಗಳು, ಜೆಟ್ ಪಂಪ್ಗಳು, ತೈಲ ಪ್ರಸರಣ ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ. ಕ್ಯಾಪ್ಚರ್ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಅಯಾನ್ ಪಂಪ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತವೆ.
ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ನಿರ್ವಾತವು ವಿಭಿನ್ನ ಹಂತಗಳನ್ನು ತಲುಪಬೇಕು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ, ಅದರ ಮಟ್ಟವನ್ನು ವ್ಯಕ್ತಪಡಿಸಲು ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತಕ್ಕೆ (ಇದನ್ನು ಆಂತರಿಕ ನಿರ್ವಾತ ಎಂದೂ ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ) ಹೆಚ್ಚು. ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತವು ಅತ್ಯಧಿಕ ನಿರ್ವಾತದ ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಮೂಲಕ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ನಿರ್ವಾತದ ಗಾತ್ರವು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುತ್ತದೆ. ಅದರ ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯು ಅತ್ಯಧಿಕ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು ಇದನ್ನು ಮಿತಿ ನಿರ್ವಾತ (ಅಥವಾ ಮಿತಿ ಒತ್ತಡ) ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೋಷ್ಟಕ 1-2 ಕೆಲವು ಸಾಮಾನ್ಯ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ಗಳ ಕೆಲಸದ ಒತ್ತಡದ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯನ್ನು ಮತ್ತು ಪಡೆಯಬಹುದಾದ ಅಂತಿಮ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಪಟ್ಟಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಕೋಷ್ಟಕದ ಮಬ್ಬಾದ ಭಾಗಗಳು ಇತರ ಸಲಕರಣೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಿದಾಗ ಪ್ರತಿ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ನಿಂದ ಪಡೆಯಬಹುದಾದ ಒತ್ತಡಗಳನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತವೆ.
–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಆಗಸ್ಟ್-30-2024