(3) Radio Frequency Plasma CVD (RFCVD)RF អាចត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតប្លាស្មាដោយវិធីសាស្រ្តពីរផ្សេងគ្នា វិធីសាស្រ្ត coupling capacitive និង inductive coupling method.RF plasma CVD ប្រើប្រេកង់ 13.56 MHz.អត្ថប្រយោជន៍នៃ RF plasma គឺថាវាសាយភាយលើផ្ទៃដែលមានទំហំធំជាងមីក្រូវ៉េវ RF ។ ការផ្គូផ្គងប្លាស្មាដែលមានសមត្ថភាពគឺថា ប្រេកង់នៃប្លាស្មាគឺមិនល្អបំផុតសម្រាប់ការផ្ទុះនោះទេ ជាពិសេសប្រសិនបើប្លាស្មាមានផ្ទុកសារធាតុ argon។ ប្លាស្មាដែលភ្ជាប់ដោយសមត្ថភាពគឺមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រដែលមានគុណភាពខ្ពស់នោះទេ ចាប់តាំងពីការទម្លាក់អ៊ីយ៉ុងចេញពីប្លាស្មាអាចនាំឱ្យមានការខូចខាតយ៉ាងធ្ងន់ធ្ងរដល់ពេជ្រ។ ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ Polycrystalline ត្រូវបានដាំដុះដោយប្រើប្លាស្មាដែលជំរុញដោយ RF ក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការដាក់ប្រាក់ដែលស្រដៀងនឹងមីក្រូវ៉េវប្លាស្មា CVD។ ខ្សែភាពយន្តពេជ្រអេពីតាស៊ីលដូចគ្នាក៏ត្រូវបានទទួលផងដែរដោយប្រើ RF-induced plasma-enhanced CVD ។
(4) DC Plasma CVD
DC plasma គឺជាវិធីសាស្រ្តមួយផ្សេងទៀតនៃការធ្វើឱ្យប្រភពឧស្ម័នសកម្ម (ជាទូទៅល្បាយនៃ H2 និងឧស្ម័នអ៊ីដ្រូកាបូន) សម្រាប់ការលូតលាស់របស់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ DC plasma-assisted CVD មានសមត្ថភាពពង្រីកតំបន់ធំនៃខ្សែភាពយន្តពេជ្រ ហើយទំហំនៃតំបន់លូតលាស់ត្រូវបានកំណត់ត្រឹមតែទំហំនៃអេឡិចត្រូត និងការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល DC ។ អត្ថប្រយោជន៍មួយទៀតនៃការចាក់បញ្ចូល DC ប្លាស្មា CVD និងទម្រង់ជាពេជ្ររបស់ DC ។ ខ្សែភាពយន្តដែលទទួលបានដោយប្រព័ន្ធនេះត្រូវបានដាក់ក្នុងអត្រា 80 mm/h ។ លើសពីនេះ ដោយសារវិធីសាស្ត្រធ្នូ DC ផ្សេងៗអាចដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមិនមែនជាពេជ្រក្នុងអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ខ្ពស់ ពួកគេផ្តល់នូវវិធីសាស្រ្តដែលអាចរកទីផ្សារបានសម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។
(5) អេឡិចត្រុង cyclotron resonance microwave plasma បង្កើនការបញ្ចេញចំហាយគីមី (ECR-MPECVD) ប្លាស្មា DC, RF plasma និង microwave plasma ដែលបានពិពណ៌នាពីមុនទាំងអស់ dissociate and decompose H2, or hydrocarbons, to atomic hydrogen and carbon-hydrogen plasma. ដោយសារប្លាស្មាអេឡិចត្រុង cyclotron resonance plasma អាចបង្កើតប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (> 1x1011cm-3) ECR-MPECVD គឺសមរម្យជាងសម្រាប់ការលូតលាស់ និងការដាក់ស្រទាប់ពេជ្រ។ ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយ ដោយសារសម្ពាធឧស្ម័នទាប (10-4- ទៅ 10-2 Torr) ដែលប្រើក្នុងដំណើរការ ECR ដែលបណ្តាលឱ្យមានការធ្លាក់ចុះនៃខ្សែភាពយន្តពេជ្រ អត្រានៃការដាក់ពេជ្រគឺសមរម្យសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តបច្ចុប្បន្ន។ មន្ទីរពិសោធន៍។
អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Guangdong Zhenhua
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-១៩-២០២៤