Шашырату - энергетикалық бөлшектердің (әдетте газдардың оң иондары) қатты дененің бетіне (төменде нысаналы материал деп аталады) соғылып, нысана бетіндегі атомдардың (немесе молекулалардың) одан қашып кетуіне әкелетін құбылыс.
Бұл құбылысты Гроув 1842 жылы катодтық коррозияны зерттеуге арналған эксперимент кезінде катод материалы вакуумдық түтік қабырғасына көшіргенде ашты. Жұқа қабықшаларды субстратты тұндырудағы бұл шашырату әдісі 1877 жылы ашылды, бұл әдісті қолданудың арқасында жұқа қабықшалардың шашырауының бастапқы кезеңдерінде тұндыру жылдамдығы төмен, пленка жылдамдығы баяу, жоғары қысымды құрылғыда орнатылуы және аффективті газға өтуі және басқа да мәселелер қатары болуы керек, сондықтан дамуы өте баяу және металдың химиялық реактивациясы жойылуға жақын. диэлектриктер, және химиялық қосылыстар, қолданбалы саны аз материалдар. 1970 жылдарға дейін магнетронды тозаңдату технологиясының пайда болуына байланысты шашыратқыш жабын қарқынды дамып, жолдың жандануына ене бастады. Себебі магнетронды шашырату әдісі электрондардағы ортогональды электромагниттік өріспен шектелуі мүмкін, бұл электрондар мен газ молекулаларының соқтығысу ықтималдығын арттырады, катодқа қосылатын кернеуді азайтып қана қоймайды, сонымен қатар мақсатты катодқа оң иондардың шашырау жылдамдығын жақсартады, оның субстраттары арқылы оның температурасын төмендетеді, оның температурасын төмендетеді. жылдамдық, төмен температура «жоғары жылдамдық пен төмен температураның» екі негізгі сипаттамасы.
1980-ші жылдарға дейін, ол оншақты жыл ғана пайда болғанымен, ол зертханадан, шын мәнінде индустрияланған жаппай өндіріс саласында ерекшеленеді. Ғылым мен техниканың одан әрі дамуымен соңғы жылдары тозаңдату жабыны саласында және күшейтілген иондық сәулеленуді енгізу, магнит өрісінің модуляциясымен біріктірілген күшті ток иондық көзінің кең шоғырын пайдалану және жаңа шашырату режимінен тұратын әдеттегі дипольді тозаңдату комбинациясы; және магнетронды шашыратқыш мақсатты көзге аралық жиіліктегі айнымалы токты электрмен жабдықтауды енгізу болады. Бұл орта жиіліктегі айнымалы ток магнетронды шашырату технологиясы, қос мақсатты шашырату деп аталады, анодтың «жоғалу» әсерін жойып қана қоймай, сонымен қатар катодтың «улану» мәселесін шешеді, бұл магнетронды шашыраудың тұрақтылығын айтарлықтай жақсартады және қосылыстардың өнеркәсіптік өндірісі үшін берік негіз береді. Бұл магнетронды шашыраудың тұрақтылығын айтарлықтай жақсартты және құрама жұқа қабықшаларды өнеркәсіптік өндіру үшін берік негіз берді. Соңғы жылдары шашыратқыш жабын вакуумдық жабын технологиясы саласында белсенді түрде дамып келе жатқан пленка дайындау технологиясына айналды.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 05 желтоқсан 2023 ж