בדרך כלל, תגובות CVD מסתמכות על טמפרטורות גבוהות, ומכאן נקראות שקיעת אדים כימית מעוררת תרמית (TCVD). הן משתמשות בדרך כלל בחומרים אנאורגניים ומבוצעות בכורים בעלי דופן חמה ודופן קרה. שיטות החימום שלה כוללות חימום בתדרי רדיו (RF), חימום בקרינה אינפרא אדומה, חימום בהתנגדות וכו'.
שקיעת אדים כימית לקירות חמים
למעשה, כור שיקוע כימי בעל דופן חמה הוא תנור תרמוסטטי, המחומם בדרך כלל עם אלמנטים התנגדותיים, לייצור לסירוגין. שרטוט של מתקן ייצור לשיקוע כימי בעל דופן חמה לציפוי כלי שבב מוצג כדלקמן. שיקוע כימי בעל דופן חמה זה יכול לצפות TiN, TiC, TiCN ושכבות דקות אחרות. ניתן לתכנן את הכור גדול מספיק כדי להכיל מספר רב של רכיבים, וניתן לשלוט בתנאים בצורה מדויקת מאוד לשיקוע. תמונה 1 מציגה התקן שכבה אפיטקסיאלית לסימום סיליקון של ייצור התקנים למחצה. המצע בכבשן ממוקם בכיוון אנכי כדי להפחית את זיהום משטח השיקוע על ידי חלקיקים, ולהגדיל מאוד את עומס הייצור. כורים בעלי דופן חמה לייצור מוליכים למחצה מופעלים בדרך כלל בלחצים נמוכים.
זמן פרסום: 8 בנובמבר 2022