השגת ואקום ידועה גם בשם "שאיבת ואקום", המתייחסת לשימוש במשאבות ואקום שונות כדי להוציא את האוויר בתוך המיכל, כך שהלחץ בתוך החלל יורד מתחת לאטמוספרה אחת. כיום, על מנת להשיג את הוואקום, מכשירים נפוצים כוללים משאבות ואקום מכניות עם גלגלי שיניים סיבוביים, משאבות שורשים, משאבות דיפוזיה של שמן, משאבות מולקולריות מרוכבות, משאבות ספיחה מסננת מולקולרית, משאבות סובלימציה מטיטניום, משאבות יונים מרקם ומשאבות קריוגניות וכן הלאה. במשאבות אלו, ארבע המשאבות הראשונות מסווגות כמשאבות העברת גז (משאבות ואקום העברה), כלומר מולקולות הגז נשאבות ברציפות לתוך משאבת הוואקום ומשוחררות לסביבה החיצונית כדי לבצע את הפינוי; ארבע המשאבות האחרונות מסווגות כמשאבות לכידת גז (משאבות ואקום לכידה), אשר מעובה מולקולרית או קשורות כימית לדופן הפנימית של תא השאיבה כדי להשיג את הוואקום הנדרש. משאבות לכידת גז נקראות גם משאבות ואקום ללא שמן מכיוון שהן אינן משתמשות בשמן כמדיום עבודה. בניגוד למשאבות העברה, אשר מסירות את הגז לצמיתות, חלק ממשאבות הלכידה הן הפיכות, המאפשרות לגז שנאסף או המעובה להיפלט חזרה למערכת במהלך תהליך החימום.
משאבות ואקום להעברה מחולקות לשתי קטגוריות עיקריות: משאבות נפחיות ומשאבות להעברה מומנטום. משאבות להעברה נפחיות כוללות בדרך כלל משאבות מכניות בעלות גלגלי שיניים סיבוביים, משאבות טבעת נוזלים, משאבות גומלין ומשאבות רוטס; משאבות ואקום להעברה מומנטום כוללות בדרך כלל משאבות מולקולריות, משאבות סילון ומשאבות דיפוזיה של שמן. משאבות ואקום לכידה כוללות בדרך כלל משאבות ספיחה בטמפרטורה נמוכה ומשאבות יונים מתזה.
באופן כללי, תהליך הציפוי שונה, ואקום תא הציפוי בוואקום צריך להגיע לרמות שונות, ובטכנולוגיית ואקום, יותר נעשה שימוש בוואקום רקע (הידוע גם כאקום פנימי) כדי לבטא את רמתו. ואקום רקע מתייחס לוואקום של תא ציפוי הוואקום דרך משאבת הוואקום כדי לענות על הצרכים של תהליך הציפוי של הוואקום הגבוה ביותר, וגודל הוואקום הזה תלוי בעיקר בקיבולת שאיבת הוואקום. חדר ציפוי בוואקום באמצעות מערכת הוואקום שלו יכול להגיע לוואקום הגבוה ביותר ונקרא ואקום גבול (או לחץ גבול). טבלה 1-2 מפרטת את טווח לחצי העבודה של כמה משאבות ואקום נפוצות ואת הלחץ הסופי שניתן להשיג. החלקים המוצללים בטבלה מייצגים את הלחצים שניתן להשיג על ידי כל משאבת ואקום כאשר משתמשים בה בשילוב עם ציוד אחר.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 30 באוגוסט 2024