ציפוי התזה באמצעות קרן יונים ותחריט באמצעות קרן יונים

1. ציפוי התזה באמצעות קרן יונים

פני השטח של החומר מופגזים בקרן יונים בעלת אנרגיה בינונית, ואנרגיית היונים אינה חודרת לסריג הגביש של החומר, אלא מעבירה את האנרגיה לאטומי המטרה, וגורמת להם להתרסק הרחק מפני השטח של החומר, ולאחר מכן ליצור שכבה דקה על ידי שקיעתה על חומר העבודה. בגלל ההתזה המיוצרת על ידי אלומת היונים, האנרגיה של אטומי שכבת הסרט המותזת גבוהה מאוד, וחומר המטרה מופגז בקרן היונים בוואקום גבוה, טוהר שכבת הסרט גבוה, וניתן להניח סרטים באיכות גבוהה, תוך שיפור יציבות שכבת הסרט של אלומת היונים, מה שיכול להשיג את המטרה של שיפור התכונות האופטיות והמכניות של שכבת הסרט. מטרת ההתזה של אלומת היונים היא ליצור חומרי סרט דקים חדשים.

2. איכול באמצעות קרן יונים

איכול אלומת יונים הוא גם הפצצת אלומת יונים באנרגיה בינונית של פני החומר כדי לייצר התזה, אפקט איכול על המצע, והוא משמש בהתקן מוליך למחצה, התקנים אופטואלקטרוניים ותחומים אחרים של ייצור טכנולוגיית ליבת גרפיקה. טכנולוגיית ההכנה לשבבים במעגלים משולבים מוליכים למחצה כוללת הכנת מיליוני טרנזיסטורים על גבי פרוסת סיליקון חד-גבישית בקוטר של Φ12 אינץ' (Φ304.8 מ"מ). כל טרנזיסטור בנוי משכבות מרובות של סרטים דקים בעלי פונקציות שונות, המורכבות משכבה פעילה, שכבת בידוד, שכבת בידוד ושכבה מוליכה. לכל שכבה פונקציונלית יש תבנית משלה, כך שלאחר ציפוי כל שכבה של סרט פונקציונלי, יש צורך לחרוט את החלקים הלא שימושיים באמצעות אלומת יונים, ולהשאיר את רכיבי הסרט השימושיים שלמים. כיום, רוחב החוט של השבב הגיע ל-7 מ"מ, ואיטוב אלומת יונים נחוץ כדי להכין תבנית עדינה כזו. איכול אלומת יונים היא שיטת איכול יבשה עם דיוק איכול גבוה בהשוואה לשיטת האיכול הרטובה ששימשה בהתחלה.

טכנולוגיית איכול באמצעות קרן יונים כוללת איכול באמצעות קרן יונים לא פעילה ואירופת קרן יונים אקטיבית. הראשון, איכול באמצעות קרן יונים ארגון, שייך לתגובה פיזיקלית; השני, איכול באמצעות קרן יונים פלואור, שייך לתגובה פיזיקלית באמצעות קרן יונים פלואורית, כאשר קרן יונים פלואורית מייצרת בנוסף לאנרגיה גבוהה גם תפקיד של תנועה, וניתן גם איכול באמצעות קרן יונים פלואורית עם SiO2.₂,סִי₃ל-N4, GaAs, W ושכבות דקות אחרות יש תגובה כימית, הן בתהליך התגובה הפיזיקלי והן בתהליך התגובה הכימית של טכנולוגיית איכול קרן יונים, וקצב האיכול מהיר. תגובת איכול גזים קורוזיביים הם CF₄ג₂F₆CCl4, BCl₃וכו', המגיבים שנוצרו עבור SiF₄סיליקה כלוריד₄GCl₃ו-WF₆ מחולצים גזים קורוזיביים. טכנולוגיית איכול באמצעות קרן יונים היא הטכנולוגיה המרכזית לייצור מוצרים מתקדמים.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה