(3) עיבוד שבבי פלזמה בתדר רדיו (RFCVD) ניתן להשתמש ב-RF לייצור פלזמה בשתי שיטות שונות, שיטת הצימוד הקיבולי ושיטת הצימוד האינדוקטיבי. עיבוד שבבי פלזמה בתדר רדיו משתמש בתדר של 13.56 מגה-הרץ. היתרון של פלזמה בתדר רדיו הוא שהיא מתפזרת על פני שטח גדול בהרבה מפלזמה במיקרוגל. עם זאת, המגבלה של פלזמה מצומדת קיבולית בתדר רדיו היא שתדר הפלזמה אינו אופטימלי להתזה, במיוחד אם הפלזמה מכילה ארגון. פלזמה מצומדת קיבולית אינה מתאימה לגידול סרטי יהלומים באיכות גבוהה מכיוון שהפגזת יונים מהפלזמה עלולה לגרום נזק חמור ליהלום. סרטי יהלומים פוליקריסטליים גודלו באמצעות פלזמה המושרה בתדר רדיו בתנאי שיקוע דומים לעיבוד שבבי פלזמה בתדר רדיו. סרטי יהלומים אפיטקסיאליים הומוגניים הושגו גם הם באמצעות עיבוד שבבי פלזמה מושרה בתדר רדיו.
(4) CVD פלזמה DC
פלזמה DC היא שיטה נוספת להפעלת מקור גז (בדרך כלל תערובת של H2 וגז פחמימני) לגידול סרטי יהלום. ל-CVD בסיוע פלזמה DC יש את היכולת לגדל שטחים גדולים של סרטי יהלום, וגודל אזור הגידול מוגבל רק על ידי גודל האלקטרודות ואספקת החשמל DC. יתרון נוסף של CVD בסיוע פלזמה DC הוא היווצרות הזרקת DC, וסרטי יהלום אופייניים המתקבלים על ידי מערכת זו מופקדים בקצב של 80 מ"מ/שעה. בנוסף, מכיוון ששיטות קשת DC שונות יכולות להפקיד סרטי יהלום באיכות גבוהה על מצעים שאינם יהלום בקצבי שיקוע גבוהים, הן מספקות שיטה שיווקית להפקדת סרטי יהלום.
(5) שיקוע כימי באדים באמצעות פלזמת תהודה של ציקלוטרון אלקטרונים (ECR-MPECVD) פלזמת DC, פלזמת RF ופלזמת מיקרוגל שתוארו קודם לכן, כולן מתפרקות ומפרקות H2, או פחמימנים, לקבוצות אטומי של מימן ופחמן-מימן, ובכך תורמות להיווצרות שכבות דקות של יהלומים. מכיוון שפלזמת תהודה של ציקלוטרון אלקטרונים יכולה לייצר פלזמה בצפיפות גבוהה (>1x1011cm-3), ECR-MPECVD מתאימה יותר לגידול ושיקוע של שכבות יהלומים. עם זאת, בשל לחץ הגז הנמוך (10-4- עד 10-2 טור) המשמש בתהליך ECR, וכתוצאה מכך קצב שיקוע נמוך של שכבות יהלומים, השיטה מתאימה כיום רק לשיקוע של שכבות יהלומים במעבדה.
–מאמר זה פורסם על ידי יצרנית מכונות ציפוי ואקום גואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 19 ביוני 2024