1. Caratteristiche del flusso di elettroni della luce ad arco
La densità del flusso di elettroni, del flusso di ioni e degli atomi neutri ad alta energia nel plasma ad arco generato dalla scarica ad arco è molto più elevata rispetto a quella della scarica a bagliore. Nello spazio di rivestimento sono presenti più ioni gassosi e ioni metallici ionizzati, atomi ad alta energia eccitati e vari gruppi attivi, che svolgono un ruolo importante nelle fasi di riscaldamento, pulizia e rivestimento del processo di rivestimento. La forma d'azione del flusso di elettroni ad arco è diversa da quella del fascio ionico, che non converge tutti in un "fascio", ma per lo più in uno stato divergente, per questo viene chiamato flusso di elettroni ad arco. Poiché gli elettroni ad arco fluiscono verso l'anodo, il flusso di elettroni ad arco è diretto ovunque sia collegato l'elettrodo positivo dell'alimentatore ad arco, e l'anodo può essere un pezzo in lavorazione, un anodo ausiliario, un crogiolo, ecc.
2. Metodo di generazione del flusso di elettroni ad arco
(1) La sorgente di gas genera un flusso di elettroni ad arco: la corrente d'arco della scarica ad arco a catodo cavo e della scarica ad arco a filo caldo può raggiungere circa 200 A e la tensione d'arco è 50-70 V.
(2) La sorgente solida genera un flusso di elettroni ad arco: sorgente ad arco catodico, inclusa la sorgente ad arco piccolo, la sorgente ad arco cilindrico, la sorgente ad arco grande a piano rettangolare, ecc. La corrente d'arco di ogni scarica della sorgente ad arco catodico è 80-200 A e la tensione d'arco è 18-25 V.
Il flusso di elettroni ad arco ad alta densità e bassa energia in due tipi di plasmi a scarica ad arco può generare un'intensa ionizzazione da collisione con atomi di gas e film metallici, ottenendo più ioni di gas, ioni metallici e vari atomi e gruppi attivi ad alta energia, migliorando così l'attività complessiva degli ioni dello strato di film.
–Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua, unproduttore di macchine per rivestimento sotto vuoto
Data di pubblicazione: 31 maggio 2023