Sprautun er fyrirbæri þar sem orkumiklar agnir (venjulega jákvæðar jónir lofttegunda) lenda á yfirborði fasts efnis (hér eftir kallað markefnið), sem veldur því að atóm (eða sameindir) á yfirborði markefnisins sleppa frá því.
Grove uppgötvaði þetta fyrirbæri árið 1842 þegar katóðuefni fluttist að vegg lofttæmisrörs í tilraun til að rannsaka katóðtæringu. Þessi aðferð við útfellingu þunnfilma á undirlagi var uppgötvuð árið 1877. Vegna þess að þessi aðferð notaði á fyrstu stigum útfellingar þunnfilma er útfellingarhraðinn lágur og filmuhraðinn hægur. Þar sem háþrýstingur og áhrif gassins verða að koma upp í tækinu og valda ýmsum vandamálum. Þróunin er því mjög hæg og nánast útrýmt. Aðeins í efnafræðilega hvarfgjörnum eðalmálmum, eldföstum málmum, rafefnum og efnasamböndum hefur verið notuð fáum efnum. Þangað til á áttunda áratugnum, vegna tilkomu segulspúttunartækni, þróaðist spúttunarhúðun hratt og hún fór að endurvekjast á vegum. Þetta er vegna þess að hægt er að takmarka segulspúttunaraðferðina með því að nota hornrétt rafsegulsvið á rafeindirnar, sem eykur líkurnar á árekstri rafeinda og gassameinda, dregur ekki aðeins úr spennunni sem bætt er við bakskautið heldur bætir spúttunarhraða jákvæðra jóna á markbakskautinu, dregur úr líkum á rafeindaárásum á undirlagið og lækkar þannig hitastig þess. Tveir helstu eiginleikar eru „mikill hraði og lágur hiti“.
Þótt það hafi aðeins verið tólf ár síðan áttunda áratugurinn birtist, þá sker það sig úr frá rannsóknarstofunni og hefur raunverulega fært sig inn á sviði iðnvæddrar fjöldaframleiðslu. Með frekari þróun vísinda og tækni, á undanförnum árum á sviði spúttunarhúðunar og kynningu á jóngeislaaukinni spúttingu, notkun á breiðum geisla af sterkum jónagjafa ásamt segulsviðsmótun og með samsetningu hefðbundinnar tvípólaspúttunar sem samanstendur af nýrri spúttunaraðferð; og mun vera kynning á miðlungstíðni riðstraumsaflgjafa til segulspúttunarmarkmiðsins. Þessi miðlungstíðni AC segulspúttunartækni, kölluð tvíþætt spúttun, útilokar ekki aðeins „hverfingaráhrif“ anóðunnar, heldur leysir einnig „eitrunarvandamál“ katóðunnar, sem bætir verulega stöðugleika segulspúttunar og veitir traustan grunn fyrir iðnvædda framleiðslu á samsettum þunnum filmum. Þetta hefur bætt verulega stöðugleika segulspúttunar og veitt traustan grunn fyrir iðnvædda framleiðslu á samsettum þunnum filmum. Á undanförnum árum hefur sputtering húðun orðið vinsæl tækni í filmuframleiðslu, virk á sviði lofttæmishúðunartækni.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 5. des. 2023