(3) Útvarpsbylgjuplasma CVD (RFCVD) Hægt er að nota RF til að framleiða plasma með tveimur mismunandi aðferðum, rafrýmd tengiaðferð og rafleiðandi tengiaðferð. RF plasma CVD notar tíðnina 13,56 MHz. Kosturinn við RF plasma er að það dreifist yfir mun stærra svæði en örbylgjuplasma. Hins vegar er takmörkun á RF rafrýmd tengdu plasma að tíðni plasmasins er ekki ákjósanleg fyrir spútrun, sérstaklega ef plasmað inniheldur argon. Rafrýmd tengt plasma hentar ekki til að rækta hágæða demantfilmur þar sem jónaárás frá plasmanu getur leitt til alvarlegra skemmda á demantinum. Fjölkristallaðar demantfilmur hafa verið ræktaðar með RF-örvuðu plasma við útfellingarskilyrði svipuð og örbylgjuplasma CVD. Einsleitar epitaxial demantfilmur hafa einnig verið fengnar með RF-örvuðu plasma-auknu CVD.
(4) Jafnstraums plasma CVD
Jafnstraumsplasma er önnur aðferð til að virkja gasgjafa (almennt blanda af H2 og kolvetnisgasi) fyrir vöxt demantfilmu. Jafnstraumsplasma-aðstoðuð CVD hefur getu til að rækta stór svæði af demantfilmum og stærð vaxtarsvæðisins er aðeins takmörkuð af stærð rafskautanna og jafnstraumsaflgjafanum. Annar kostur við jafnstraumsplasma-aðstoðaða CVD er myndun jafnstraumsinnspýtingar og dæmigerðar demantfilmur sem fengnar eru með þessu kerfi eru settar á hraðann 80 mm/klst. Þar að auki, þar sem ýmsar jafnstraumsbogaaðferðir geta sett hágæða demantfilmur á undirlag sem ekki er demant við mikla útfellingarhraða, veita þær markaðshæfa aðferð til að setja demantfilmur á.
(5) Efnafræðileg gufuútfelling með örbylgjuplasma með rafeindahringrásarsveiflu (ECR-MPECVD) Jafnstraumsplasma, RF-plasma og örbylgjuplasma sem lýst er áður sundra og brjóta niður H2, eða kolvetni, í atómvetnis- og kolefnis-vetnisatómhópa og stuðla þannig að myndun demantþunnfilma. Þar sem rafeindahringrásarsveifluplasma getur framleitt plasma með mikilli þéttleika (>1x1011cm-3), hentar ECR-MPECVD betur fyrir vöxt og útfellingu demantfilma. Hins vegar, vegna lágs gasþrýstings (10-4- til 10-2 Torr) sem notaður er í ECR ferlinu, sem leiðir til lágs útfellingarhraða demantfilma, hentar aðferðin nú aðeins fyrir útfellingu demantfilma á rannsóknarstofu.
–Þessi grein er gefin út af framleiðanda lofttæmishúðunarvéla í Guangdong Zhenhua.
Birtingartími: 19. júní 2024